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第 4 章 生产程序制作 ● 当标记识别不稳 定时，按 下照明条件设定 按钮，设 定照明图案。 请在指定测定框 的左上方 前，设定照明图 案。 图 4-5-17 照明条件 设定 按下设置照明条 件按钮， 显示如下画面。 请进行照 明图案的设定。 图 4-5-18 照明图案 设定 ·可通过 < 应用 > 按钮来确 认所设定光量下 的图像。 照明图案 处理 标准照明 识别通常的 基板标记时使 用。 带 REGIST/ 保护膜的图…
第 4 章 生产程序制作
按继续键则继续进行示教，摄像机移动到标记的XY坐标，在监视画面上显示出示教对象(要记
忆的)的图案。
※当监视器画面上没有想示教的图案时，请确认输入的坐标是否正确。
※对于陶瓷基板标记(标记为白色)，确认后请再次按下“CAMERA”。在此按摄像机键，
可切换极性（对比度）。
③ 请设定检测框。
按照上面、左面、下面及右面的顺序，利用上下左右箭头键(使用 FAST
键改变检测框的移
动速度)来调整、输入检测框。
此时，将自动识别标记，并获的校正所需的数据。
自动获得标记周围的干扰隔离级别，并显示在监视器上。
使用HOD的↑键、↓键(XY移动上下箭头键)进行调整,使标记清晰可见且周围的干扰非常小。
调整结束后请按ENTER键。
显示摄象机图形和长方形的框。
首先设定上面及左面的刻度框。
请调整至与标记的上面及左面一致。
调整完成后按 ENTER 键。
同样的，设定下面及右面的刻度框。
调整完成后按 ENTER 键。
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第 4 章 生产程序制作
● 当标记识别不稳定时，按下照明条件设定按钮，设定照明图案。
请在指定测定框的左上方前，设定照明图案。
图 4-5-17 照明条件设定
按下设置照明条件按钮，显示如下画面。请进行照明图案的设定。
图 4-5-18 照明图案设定
·可通过<应用>按钮来确认所设定光量下的图像。
照明图案 处理
标准照明 识别通常的基板标记时使用。
带 REGIST/保护膜的图
案照明
在标记上有 REGIST 或保护膜，标准照明时标记反射不佳，
识别不稳定时使用。
用户定义的照明
上述 2 种情况下标记的反射均不佳，识别不稳定时，直接
设定垂直、角度照明的光量时使用。
※用户定义的照明模式，一般设置在 50～200 之间。设置在 50 以下时，有
时光亮不稳定。
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第 4 章 生产程序制作
④ 请选择标记的形状。
标记的形状将被自动判别。判别结果有误时，请用HOD的↑键、↓键(X、Y移动上下箭头键)
选择正确的标记。
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[ ]ＰＲ
⑤ 请进行检测框的示教。
④ 完成的操作后，自动将大小为标记尺寸 1.5 倍的窗口移动到画面中心(默认窗口)。
想改变检测框时，按照与④相同的步骤进行。
按与刻度框同样的方式来设定检测框}
设定的方法与
刻度框相同。
完成调整后，按 ENTER 键。
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