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EJM80DC-MB-03E -00 NPM-DX 3-5 -2 No. 名称 参考使用寿命 [h] 备注 参阅 1 基板传送皮带 – – 9-3-3 ■ 延长传送带 No. 名称 参考使用寿命 [h] 备注 参阅 1 FA 电脑 : 日历蓄电池 (87600) 10 年 9-3-5 2 FA 电脑 :U P S 蓄电池 (26280) 6 年 ■ LNB 选购件
EJM80DC-MB-03E-00
NPM-DX
各类型共同点
3-5-1
消磨零部件一览
选购件
工程师手册
3-5
No.
名称
参考使用寿命
[h]
备注 参阅
1
基板传送皮带
(基板传送带)
– – 9-3-1
2
基板传送皮带
(传送带L、传送带R)
3
CPU板蓄电池
60000
10 年
9-3-5
4
治具站蓄电池
(8760)
1 年
No.
名称
参考使用寿命
[h]
备注 参阅
1
夹具夹扣
18000 – 8-12
夹具夹扣压紧用弹簧
3
吸嘴缓冲用弹簧
4
空气过滤器芯
6000 – 9-3-6
■轻量16吸嘴贴装头V2
No.
名称
参考使用寿命
[h]
备注 参阅
1
夹具夹扣
18000 – 8-12
夹具夹扣压紧用弹簧
3
吸嘴缓冲用弹簧
4
空气过滤器芯
6000 – 9-3-7
■轻量8吸嘴贴装头
No.
名称
参考使用寿命
[h]
备注 参阅
1
夹具夹扣
18000
–
8-1
2
夹具夹扣压紧用弹簧
3
空气过滤器芯
6000 9-3-8
■4吸嘴贴装头
EJM80DC-MB-03E-00
NPM-DX
3-5-2
No.
名称
参考使用寿命
[h]
备注 参阅
1
基板传送皮带
– – 9-3-3
■延长传送带
No.
名称
参考使用寿命
[h]
备注 参阅
1
FA电脑: 日历蓄电池
(87600)
10 年
9-3-5
2
FA电脑:UPS蓄电池
(26280)
6 年
■LNB
选购件
EJM80DC-MB-03E-00
NPM-DX
各单元定期检查部位 1
＜各类型共同点＞
各种压力表
3-6-1
工程师手册
3-6
关于设定值和检查方法的细节，请参考操作手册 “6-1-1 压力的检查”。
真空泵供给压
(用于B 基台的)
主气压
真空破坏压
(用于B 基台的)
1
真空泵供给压
(用于A 基台的)
选购件用
清扫吹气压
真空破坏压
(用于A 基台的)
1
3
2
2
4
1