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EJM8D C - MB - 09E - 00 NPM - DX 9-2-2 -4 基板支撑销 后侧 用于轨道 1 用于轨道 2 无间隙 用于轨道 2 17 关闭安全盖 15 安装供料器工作台盖 14 安装基板支撑销 16 取下盖在多功能识别照相机上的棉纱 布 ● 请注意不要将灰尘落 下及碰 撞多功 能识 别照相机 (LED 照明上 ) 。 从单轨模式 ⇒ 双轨模式进行变更时。 ( 要从后侧进行作业 ) • 因为用于轨道 1 的和用…
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NPM-DX
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卸下交换台车
(→P.2-4)
11
10
打开安全盖
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请使供料器工作台盖倒向内侧
模式的
切换
切换的确认 2
工程师手册
9-2-2
伺服开关OFF
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在多功能识别照相机上面蒙上棉纱
布
●防止作业中杂物混入照相机透镜内
9-2-2-3
用于轨道1
用于轨道2
间隙
前侧
用于轨道2
使用固定式基板支撑块时，请至步骤 。
使用基板支撑块
整体交換方式，或使用
支撑销自动交換的基板支撑块时，需要变更
基板支撑块的安装位置。
(请参考操作员使用的手册P.7-3-1。)
从双轨模式⇒单轨模式进行变更时。
(要从前侧进行作业)
• 因为用于轨道1的和用
于轨道2的基板支撑块
之间有间隙，所以要变更块的安装位置，
使其无间隙。
• 拆下内侧的块 (用于轨道
2的)。
• 将内侧的块 (用于轨道
2的) 向跟前侧的块
(用于轨道1的) 靠紧并安装好。
14
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基板支撑销
后侧
用于轨道1
用于轨道2
无间隙
用于轨道2
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关闭安全盖
15
安装供料器工作台盖
14
安装基板支撑销
16
取下盖在多功能识别照相机上的棉纱
布
●请注意不要将灰尘落下及碰撞多功能识
别照相机 (LED照明上)。
从单轨模式⇒双轨模式进行变更时。
(要从后侧进行作业)
• 因为用于轨道1的和用于轨道2的基板支撑块
之间无间隙，所以要变更快的固定位置，
使其产生间隙。
• 拆下跟前侧的块 (用于轨道
2的)。
• 将内侧的块 (用于轨道
1的) 从跟前侧的块
(用于轨道1的) 分离 (≒79 mm) 并安装好。
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+
(基板支撑块转为下降到原点的状态)
确认提示
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+
对A基台、B基台两者
实施步骤 ～ 。
5 21
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伺服开关ON
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安装交换台车
(→『工程师手册』P.2-4)
模式的
切换
切换的确认 3
工程师手册
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