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EJM8D C - MB - 04E - 00 NPM - DX 7 5 6 4 8 将供料器工作台盖 倒向内侧。 ( → P.2 - 5) 安装供料器工作台 盖 ( → P.2 - 5) 检查皮带 把 X 轴往内推 皮带 滚轮 ●用滚轮转动皮 带，如果发现 损伤、灰尘附 着，或发生磨损、 起毛 就进行更换。 ● 各轨道上有 6 条。 ( 参照下图 ) 可动侧 固定侧 可动侧 固定侧 轨道 1 侧 轨道 2 侧 4-6 -2
EJM8DC-MB-04E-00
NPM-DX
OFF SERVO ON
卸下交换台车
(→P.2-4)
传送带的检查 1
4-6-1
1
2
(→『操作手册』P.3-3-4)
安装交换台车
(→P.2-4)
11
9
10
3
工程师手册
4-6
OFF SERVO ON
基板传送皮带的检查 (Ａ基台、B基台通用)
在这里对基板传送带 传送带L、传送带R的检查方法进行说明。
使用工具: 皮带张力计 所需时间: 基板传送带: 5 分钟 传送带L、传送带R: 各2 分钟
将传送带宽度调
整为150 mm (为
了更有利于操作)
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NPM-DX
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5
6
4
8
将供料器工作台盖
倒向内侧。
(→P.2-5)
安装供料器工作台
盖 (→P.2-5)
检查皮带
把X轴往内推
皮带
滚轮
●用滚轮转动皮带，如果发现损伤、灰尘附着，或发生磨损、起毛
就进行更换。
●各轨道上有6 条。(参照下图)
可动侧
固定侧
可动侧
固定侧
轨道1侧
轨道2侧
4-6-2
EJM8DC-MB-04E-00
NPM-DX
工程师手册
4-6
传送带的检查 2
4-6-3
延长传送带的皮带的检查
●检查步骤除了步骤⑦之外都与基板传送带相同。步骤⑦前后的步骤请按照基板传送带的步骤实施。
7
●用滚轮转动皮带，如果发现损伤、灰尘附着，或发生磨损、起
毛就进行更换。
●各轨道上有6 条。(参照下图)
●皮带位置
这里对A基台侧有延长传送带时的检查方法进行说明。
P.4-6-2
步骤
之后
6
至P.4-6
-2
步骤
8
检查皮带
可动侧
固定侧
可动侧
固定侧
轨道1侧
轨道2侧
滚轮
皮带