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EJM8D C - MB - 04E - 00 NPM - DX 4- 10 -2 4 6 ● 基板检测传感器 轨道 1 、 2 的投光 侧、受光侧 各有 12 个 5 将供料器工作台盖 倒向内侧。 ( → P.2 - 5) 清扫基板检测传感器部 ●使用棉棒。 A 基台 B 基台 基板检测传感器
EJM8DC-MB-04E-00
NPM-DX
OFF SERVO ON
基板检测传感器的清扫 1
使用工具: 棉棒 所需时间: 5 分钟
4-10-1
1
卸下交换台车
(→P.2-4)
2
3
(→『操作手册』P.3-3-4)
基板传送带
对基板检测传感器的清扫方法进行说明。 请拆下托盘供料器后再作业。(→ P.10-8)
●为了更有利于操作
工程师手册
4-10
10
9
安装交换台车
(→P.2-4)
8
7
安装供料器工作台
盖
(→P.2-5)
OFF SERVO ON
将传送带宽度调整
为150 mm
EJM8DC-MB-04E-00
NPM-DX
4-10-2
4
6
●基板检测传感器
轨道1、2的投光侧、受光侧各有12个
5
将供料器工作台盖
倒向内侧。(→P.2-
5)
清扫基板检测传感器部
●使用棉棒。
A基台 B基台
基板检测传感器
EJM8DC-MB-04E-00
NPM-DX
OFF SERVO ON
基板检测传感器的清扫 2
4-10-3
工程师手册
4-10
延长传送带
这里对基板检测传感器器的清扫方法进行说明。
使用工具: 棉棒 所需时间: 5 分钟
1
卸下交换台车
(→P.2-4)
2
3
将传送带宽度调整
为150 mm
(→『操作手册』P.3-3-4)
●为了更有利于操作
10
9
安装交换台车
(→P.2-4)
8
7
安装供料器工作台
OFF SERVO ON