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EJM8D C - MB - 04E - 00 NPM - DX OFF SERVO ON 基板检测传感器的清 扫 1 使用工具 : 棉棒 所 需时间 : 5 分 钟 4- 10 -1 1 卸下交换台车 ( → P.2 - 4) 2 3 ( → 『 操作手册 』 P.3 -3- 4) 基板 传送带 对 基板 检测 传感器的清扫 方法进行说明 。 请拆下托盘供料 器后再 作业 。 ( → P.1 0 - 8) ● 为了更有利于操作 工程师…
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NPM-DX
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打开前侧安全盖后，确认
・[AF 安全盖]
的显示颜色是否从蓝色变成灰色
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打开后侧安全盖后，确认
・[AR 安全盖]
的显示颜色是否从蓝色变成灰色
1
2
4
安全开关 (安全盖) 的检查
<A基台的确认>
<B基台的确认>
5
5
对安全开关(安全盖)的检查方法进行说明。
使用工具: 不要 所需时间: 2 分钟
●顺序 至 ，是从设备前侧进行，顺序 是从设备的后侧进行操作。
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(显示「输入确认」画面显示)
要按动4次
(#4) 按1次、 按4次。
用与A基台同样的步骤确认。
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OFF SERVO ON
基板检测传感器的清扫 1
使用工具: 棉棒 所需时间: 5 分钟
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1
卸下交换台车
(→P.2-4)
2
3
(→『操作手册』P.3-3-4)
基板传送带
对基板检测传感器的清扫方法进行说明。 请拆下托盘供料器后再作业。(→ P.10-8)
●为了更有利于操作
工程师手册
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安装交换台车
(→P.2-4)
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安装供料器工作台
盖
(→P.2-5)
OFF SERVO ON
将传送带宽度调整
为150 mm
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●基板检测传感器
轨道1、2的投光侧、受光侧各有12个
5
将供料器工作台盖
倒向内侧。(→P.2-
5)
清扫基板检测传感器部
●使用棉棒。
A基台 B基台
基板检测传感器