SER01989020_YV112III Service_J.pdf - 第20页

2- 10 SER01989020 点検・保守 第 2 章 3 ■ノズル周辺の消耗部品 10142002-00 10 3 4 11 12 14 13 2 1 7 9 6 44 8 5 15

100%1 / 187
2-
9
SER01989020
点検・保守
第
2
章
3
3.2 消耗部品リスト
40142006-01
KM6-M7191-10X
KG2-M7191-20X
KG2-M7191-30X
KG2-M7194-01X
KM5-M7191-40X
KG2-M7198-01X
KG2-M7195-01X
KM5-M7191-50X
KG2-M7199-01X
KM5-M7126-00X
KM1-M7162-10X
KM1-M7162-20X
K46-M8527-C0X
K46-M8527-D0X
KM5-M7174-A1X
KG2-M8582-40X
K46-M4889-00X
KG2-M3407-A0X
KU0-M3410-41X
KM5-M9143-00X
KM5-M9143-10X
TYPE1, NOZZLE 
TYPE2, NOZZLE
TYPE3, NOZZLE
MIRROR, NOZZLE
TYPE4, NOZZLE
O-RING P3
MIRROR, NOZZLE
TYPE5, NOZZLE
O-RING P7
SPRING, BUFFING
VALVE(SPARE PARTS)
VALVE(SPARE PARTS)
FILTER
O-RING
EJECTOR UNIT
VALVE
BULB
JOINT ASSY
VALVE KIT
BELT 2 CONVEYER : HAM
BELT 3 CONVEYER : HAM
Sel.
Sel.
Sel.
1
Sel.
1
1
Sel.
1
24
24
24
24
24
24
12
3
Sel.
Sel.
2
2
ノズル Type 51
ノズル Type 52
ノズル Type 53
ノズル Type 51, 52, 53用反射板
ノズル Type 54
ノズル Type 54先端用
ノズル Type 54用反射板
ノズル Type 55
ノズル Type 55先端用
ノズルバフィング用スプリング
ヘッド上下用バルブ
ヘッド上下スピード切替用バルブ
真空発生器用フィルター
真空発生器用Oリング
真空発生器
各コンベアユニット用バルブ
表示灯(パトライト)用電球
フィーダープレート部ジョイント Assy
フィーダー駆動用バルブ
基板搬送用コンベアベルト(M)
基板搬送用コンベアベルト(L)
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
13
14
15
No. 部品番号 部品名称 数量 備 考
Sel. 注文時に数量を指定してください。
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点検・保守
第
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章
3
■ノズル周辺の消耗部品
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SER01989020
点検・保守
第
2
章
3
3.3 保守推奨品リスト
40142007-00
KH4-M655F-20X
KH1-M655F-00X
KM1-M7165-00X
KJ2-M7158-00X
KG2-M7181-00X
KM5-M7121-00X
KM5-M7122-00X
KM5-M7107-00X
KM5-M7107-B0X
KG2-M8596-00X
KL0-M655G-10X
KL0-M655G-00X
90K50-8A1C4X
90K50-4W034M
90K50-871C4Y
90K50-4W034R
90K50-4W034Z
90K50-4W034W
90K50-4W032W
SENSOR, 1-3
SENSOR, 1-3
SENSOR HEAD
SENSOR HEAD
PACKIN, MYA4
RETURN SPRING
CYLINDER
SPLINE HEAD UNIT
SPLINE HE. U. B. : SPARE
AIR PRESS. METER
SENSOR, 1-4
SENSOR, 1-4
AC SERVO MOTOR
AC SERVO MOTOR
AC SERVO MOTOR
AC SERVO MOTOR
AC SERVO MOTOR
AC SERVO MOTOR
AC SERVO MOTOR
6
4
12
12
24
24
24
12
1
1
1
4
2
1
2
2
2
2
2
基板感知センサー
コンベア安全確認センサー
ヘッド下降端センサー
ヘッド下降端センサー(異周波)
真空経路用パッキン
ヘッド上下用スプリング
ヘッド上下駆動用シリンダー
ヘッド上下用スプラインユニット
ヘッド上下用スプラインシャフト
レギュレーター用エアゲージ
T軸上下駆動シリンダー用センサー
プッシュアップロケートピン駆動シリンダー用センサー
X軸サーボモーター1000W
T軸サーボモーター60W
Y軸サーボモーター750W
R軸サーボモーター60W
Z軸サーボモーター60W
固定コンベア用W軸サーボモーター60W
移動コンベア用W軸サーボモーター60W
部品番号 部品名称 数量 備 考