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VM-101 2018.0520 - 107 - 13. 尺寸图 ( 单位 : mm) Remarks 上述示图的缩小比例与实际机器在严格上 讲，并不完全一致。 在研讨生产线构成和尺寸时，请另行 索取资料。 本机下部如有设置通风道等时，请确保与 主体间空隙保持 40 mm 以上。 固定供给部规格 交换台车规格 1 022.5 954 2 000 1 500 900 1 010 (左延长传送带的规格) ( 基板传送高度…
VM-101 2018.0520
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12.2
空气投入部
后 侧
空气软管(长度: 5 m)
80PN
(
日东工器
)
30SM-TS
(
日东工器
)
工厂侧配管连接口
直径
: Rc3/8
设备附带部件
客户准备
VM-101 2018.0520
- 107 -
13.
尺寸图
(
单位
: mm)
Remarks
上述示图的缩小比例与实际机器在严格上讲，并不完全一致。
在研讨生产线构成和尺寸时，请另行索取资料。
本机下部如有设置通风道等时，请确保与主体间空隙保持 40 mm 以上。
固定供给部规格 交换台车规格
1 022.5
954
2 000
1 500
900
1 010(左延长传送带的规格)
(基板传送高度)
830
820 5 5
(传送带长度)
(罩外形)
Air
电源
2 258
954 1 304
203
120
74
基板传送基准
卷盘支架
卷盘支架
180 180
1 004
1 010(右延长传送带的规格)
1 190(左右延长传送带的规格)
2 345
1 041 1 304
1 022.5
954
基板传送基准
1 004
托盘供料器规格
1 958 300
卷盘支架
1 958 87 300
2 360
1 056 1 304
1 022.5
954
基板传送基准
1 004
1 958 102 300
托盘供料器
卷盘支架
前 侧
前 侧
前 侧
交换台车
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■ 调整螺栓的配置图
(
单位
: mm)
前 侧
A
IR
0.5 MPa ~ 0.8 MPa
电源
819.5
8
14
5
24
6
7 22
3
860.5
1 680
660
77
77
基板传送基准
260 740 490
190
139.5 600.5
1 263
599 1 081
182