第四卷 维护保养& 故障处理.pdf - 第119页
4OM-1752 1-69 1305-001 6.扩散板组装治具的使用方法 6. 扩散板组装治具的使用方法 Procedure (1) 同时暂时固定内侧和外侧扩散板。 外侧扩散板 内侧扩散板 F4A65 (2) 如图在 3 处安装治具 1、2。 注意不要损伤线传感器。 治具 1 治具 2 F4A66 (3) 用螺栓固定扩散板后,拆卸治具 1、2。 F4A67

4OM-1752
1-68
(5)将滑动部推到主机丙烯模块端面,插入吸嘴过滤器。
丙烯模块端面
滑动部
推
F4A64
5.7吸嘴过滤器的插入方法
1305-001

4OM-1752
1-69
1305-001
6.扩散板组装治具的使用方法
6. 扩散板组装治具的使用方法
Procedure
(1)同时暂时固定内侧和外侧扩散板。
外侧扩散板
内侧扩散板
F4A65
(2)如图在 3 处安装治具 1、2。
注意不要损伤线传感器。
治具 1 治具 2
F4A66
(3)用螺栓固定扩散板后,拆卸治具 1、2。
F4A67

4OM-1752
1-701305-001
7. 消耗元件和重要保修元件
7.1 消耗元件列表
一年内可能消耗完的元件列表。
购买时,请联系株式会社日立高新技术的营业部门或销售代理店。
品名 元件编号 元件名 使用数 建议更
换周期
建议数 / 年
Note(a)
备注
吸嘴 (HV82C) KYA-M7782-00
HV82C---
ASSY_NOZZLE(HV82C) 30 1年 30 Note e
吸嘴 (HV13C) KYA-M7713-00
HV13C---
ASSY_NOZZLE(HV13C) 30 1年 30 Note e
吸嘴 (HA14C)
KYA-M7714-A0
HV14C---
ASSY_NOZZLE(HV14C)
30 1年 30 Note e
吸嘴 (HA15C)
KYA-M7715-A0
HV15C---
ASSY_NOZZLE(HV15C)
30 1年 30 Note e
吸嘴 (HV19C)
KYA-M7719-A0
HV19C---
ASSY_NOZZLE(HV19C)
30 1年 30 Note e
吸嘴 (PA05C) KYB-M7730-A0
PA05C---
ASSY_NOZZLE(PA5C) 30 1年 30 Note e
吸嘴 (HG33C) KYA-M7703-A0
HG33C---
ASSY_NOZZLE(HG33C) 30 1年 30 Note e
吸嘴 (HG52C) KYA-M7705-00
HG52C---
ASSY_NOZZLE(HG52C) 30 1年 30 Note e
吸嘴 (HG24C) KYA-M7702-A0
HG24C---
ASSY_NOZZLE(HG24C) 30 1年 30 Note e
吸嘴 (HG82C) KYA-M7708-00
HG82C---
ASSY_NOZZLE(HG82C) 30 1年 30 Note e
真空过滤器 KYB-M704D-00
225B0572
AIR_CLEAN_EQPT 60 1週 240 Note h
氟片 KYB-M3T15-00
212A2743
GUIDE 2 1年 2
聚氨酯夹板
ASSY
KYB-M3T17-00
0920715E
KYB-M3T16-00
09207152
ASSY_CLAMPER_Y
ASSY_CLAMPER_K
2
2
1年 2
2
密封组件
扁平环
安装螺栓
KYF-M865T-00
0920716C
KYB-M3T1U-00
0920H159
90990-01J118
0920H158
ASSY_SEAL
SEAL
BOLT,HEX.SOCKETHEAD
2
2
12
1年 2
2
12
切割器部
摇动侧
滚轴用
盘形组件
切割器刀片
安装螺栓
KYF-M865U-00
0920716D
KYB-M3T1A-00
0920H127
90990-06J004
221A0231
ASSY_DISK
DISK
BOLT,HEX-SCT
4
4
12
1年 4
4
12
Note c
吸嘴过滤器 KYA-M7702-10
225A0045
AIRCLEANEQPT 30
(15)
1週 1000
(500)
Note
d,h,i
真空过滤器 KYB-M3823-00
225B0313
AIR_LINE_EQPT 2 2 个月 12 Note d
T4A17
7.消耗元件和重要保修元件