P-0310-004(2_2).pdf - 第20页

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ࡁ࠭࡞ࠬ࠻࠶ࠞㇱFig. J2

Nozzle Stocker Section

ࡋ࠶࠼ㇱFig. J1

Head Section

1007-003

UNIT-9: MULTI-FUNCTIONAL HEAD, NOZZLE STOCKER SECTION

MULTI-FUNCTIONAL HEAD, NOZZLE STOCKER SECTION

CONTENTS

Fig. J1

多機能ヘッド

MUL

TI-FUNCTIONAL HEAD

Fig. J1-A1

全体図１

PARTS LAYOUT-1

Fig. J1-A2

全体図２

ARTS LAYOUT-2

Fig. J1-1

カバー部

Cover Section

Fig. J1-2

ベース、電装ボックス

Base, Electrical Box

Fig. J1-3 L

軸駆動部

L Axis Driving Section

Fig. J1-4 Z

軸駆動部

Z Axis Driving Section

Fig. J1-5

チャック部

Chuck Section

Fig. J1-6

ソレノイドバルブ、真空センサ

Solenoid Valve, Vaccum Sensor

Fig. J1-7

エア配管

Air Piping

0912-002

Fig. J1

UNIT-9

Fig. J1

HEAD 2