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MSR 服务手册 4.4 基板 搬送：上载导 轨·下载导轨 D14SCC-W 3-000-A0 4.4-2 4.4.2 搬送导轨间级差的调整 搬送导轨间级 差的调整 搬送导轨间级 差的调整 搬送导轨间级 差的调整 相关 Unit No. 搬送 轨 道 间级 差的 调 整 = 准备 准备 准备 准备 = 1. 塞尺 ► 搬送导轨间的级差的调整 搬送导轨间的级差的调整 搬送导轨间的级差的调整 搬送导轨间的级差的调整 1. 打开电 源，进行返…
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4.4 基板搬送：上载导轨·下载导轨
4.4-1 D14SCC-W3-000-A0
4.4 基板搬送：上载导轨·下载导轨
基板搬送：上载导轨·下载导轨基板搬送：上载导轨·下载导轨
基板搬送：上载导轨·下载导轨
Sentence No. D14SCC-W3-000-A0
4.4.1 搬送导轨间的间隙的调整
搬送导轨间的间隙的调整搬送导轨间的间隙的调整
搬送导轨间的间隙的调整
相关Unit No.
搬送导轨间的间隙的调整
=准备
准备准备
准备=
1. 塞尺
►搬送导轨间的间隙的调整
搬送导轨间的间隙的调整搬送导轨间的间隙的调整
搬送导轨间的间隙的调整
1. 打开电源，进行返回原点。
2. 将副操作盘的“XY TABLE LOADER POS MOVE”
（XY工作台搬送高度位置移动）置于ON。
=确认
确认确认
确认=
请确认XY工作台的上升。
3. 确认XY工作台与上载导轨、下载导轨之间的导轨间隙。
4. 在规格值之外时，旋松上载导轨装置螺栓（6根）、
下载导轨装置螺栓（6根）。
5. 手动操作上载导轨、下载导轨，调整间隙。
6. 旋紧上载导轨装置螺栓、下载导轨装置螺栓。
（上
载导轨
、下
载导轨驱动
部）
（
间
隙）
XY
工作台
上载导轨
下
载导轨
上载导轨装置螺栓
XY
工作台
2.0
+0
-1.0
2.0
+0
-1.0
上载导轨装置螺栓
㎜
㎜
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4.4 基板搬送：上载导轨·下载导轨
D14SCC-W3-000-A0 4.4-2
4.4.2 搬送导轨间级差的调整
搬送导轨间级差的调整搬送导轨间级差的调整
搬送导轨间级差的调整
相关Unit No.
搬送轨道间级差的调整
=准备
准备准备
准备=
1. 塞尺
►搬送导轨间的级差的调整
搬送导轨间的级差的调整搬送导轨间的级差的调整
搬送导轨间的级差的调整
1. 打开电源，进行返回原点。
2. 卸将副操作盘的“XY TABLE LOADER POS MOVE”
（XY工作台搬送高度位置移动）置于ON。
=确认
确认确认
确认=
请确认XY工作台的上升。
3. 确认XY工作台与上载导轨、下载导轨间的可动导轨的
级差。
=规格值
规格值规格值
规格值=
级差：0.3mm以内
=确认
确认确认
确认=
请确认下游侧处于较低位置。
4. 在规格值之外时，旋松上载导轨可动导轨螺栓（3根）、
下载导轨可动导轨螺栓（3根）。
5. 旋松可动导轨偏心销的锁紧螺母。
6. 用可动导轨偏心销调整级差。
7. 旋紧锁紧螺母。
8. 旋紧上载导轨可动导轨螺栓、下载导轨可动导轨螺栓。
9. 进行上载导轨、下载导轨平面度的调整。
=参考
参考参考
参考=
请参照“4.4.3 搬送导轨平面度的调整”。
偏心
销
XY
工作台
上载导轨
下
载导轨
0.3mm
以内
标尺
皮
带
（级差）
上载导轨、下载导轨
上
载导轨
螺栓
偏心
销
、
锁紧
螺母
0.3mm
以内
XY
工作台
标尺
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4.4 基板搬送：上载导轨·下载导轨
4.4-3 D14SCC-W3-000-A0
10. 确认XY工作台与上载导轨、下载导轨间的固定
导轨的级差。
=规格值
规格值规格值
规格值=
级差：0.3mm以内
=确认
确认确认
确认=
请确认下游侧处于较低位置。
11. 再次确认XY工作台与上载导轨、下载导轨间的
可动导轨的级差。
偏心
销
XY
工作台
下
载导轨
下
载导轨
0.3mm
以内
标尺
皮
带
（级差）
上载导轨、下载导轨轨道
下
载导轨
螺栓
偏心
销
、
锁紧
螺母
0.3mm
以内
XY
工作台
标尺