KE-3010A_20VA_20VRA_操作员手册.pdf - 第29页
操作手册 3- 14 Ste p 5 - 5 执行坏板标记读 入器示教( OCC ) 。 坏板标记的标示 方法和材质有变 更时,因标记 明亮度的「阈值 」会有变化, 需要进行示教。 检查单元以 “OCC ” 为例 记述。 2. 显示「坏板标 记读入器 示教」 画面 请选择坏板标记 检查单元 [ OCC] 。 5. 同样,进行无 标记位置的示教 。 1. 请按下「坏 板标记读入器示 教」 。 3. 选择有标记位置的输入焦点( X,Y 任 …

操作手册
3-13
Step5-4
执行标记示教。
因基板批次不同,BOC 标记或基准领域标记有变化时,需要重新取得标记信息。
1.
按下 [标记示教]
。
2.
显示「标记数据示教」画面。
*在这里只确认「BOC 标记识别」执行是
否正确。
请按[BOC 标记识别]按钮。
3.
请确认安全后,按下 [继续] 按钮。
进行 BOC 标记识别。
也可按下传送控制按钮,
传送基板。

操作手册
3-14
Step5-5
执行坏板标记读入器示教(
OCC
)。
坏板标记的标示方法和材质有变更时,因标记明亮度的「阈值」会有变化,需要进行示教。
检查单元以“OCC”为例记述。
2.
显示「坏板标记读入器示教」画面
请选择坏板标记检查单元[OCC]。
5.
同样,进行无标记位置的示教。
1.
请按下「坏板标记读入器示教」。
3.
选择有标记位置的输入焦点(X,Y 任
何一个均可),按「功能栏」的[示教]按
钮。
4.
显示「OCC 坏板标记坐标示教」画面
。
边看叠加画面,边设置检出框。看图像状
况,直接触摸画面,设置检出框。
设置检出框后,按[确定]。

操作手册
3-15
注意
为避免伤害人身,操作中请绝对不要把手伸进装置内,脸部和头部也不可靠近装
置。
6.
选择「设置 OCC 坏板标记阈值」的输
入焦点。
8.
显示 OCC 坏板标记识别示教画面。
边看叠加画面,边设置坏板标记检出框。
看图像状况,直接触摸画面,设置检出框
。
9.
然后按[确定],开始取得阈值的动
作。
10.
取得阈值,成功后,显示如下画面。
请按[确定]。
7.
按功能栏的[示教]按钮。