KE-3010A_20VA_20VRA_操作员手册.pdf - 第47页
操作手册 4-6 1 ） 请确认在显示器画面 表示的压力， - 87kPa 以上。 检查真空压时，点击画 面左下部（蓝框 ） 区域，即 显示当前压 力。 2) 负压表降低到 - 87k Pa 时，需要更 换消耗零件。 请按照「 4-8- 2 更换真 空泵元件」进行 消耗零件的检查 、更换。 检查项目 4-2-2 真空泵压力 实施频度 ：每天 检查内容 确认真空压力 通过点击，可切 换显示 / 隐藏
操作手册
4-5
更换间隔
：每2年更换1次。或压力下降约0.1MPa（1kgf／C㎡）时。
更换方法
1）请关闭指状阀的旋钮。
2）一边降下滑动部分，一边将主体向左右任意一侧旋转 45 度，然后抽出。
3）将固定过滤器零件B的树脂零件向左旋转，拆卸过滤器零件B。将过滤器零件A本身向左旋转后拆
下，拆卸过滤器零件A。
4）按拆卸时的逆向步骤重新安装好。
注意
在开始作业前，请关闭指状阀的旋钮。
检查 ･更
更换过滤器零件
更换标准
：
2
年
打开状态
关闭状态
过滤器零件 A
PF901010000
过滤器零件 B
PF901006000
树脂零件
滑动部
操作手册
4-6
1） 请确认在显示器画面表示的压力，-87kPa 以上。
检查真空压时，点击画面左下部（蓝框）区域，即显示当前压力。
2) 负压表降低到-87kPa 时，需要更换消耗零件。
请按照「4-8-2 更换真空泵元件」进行消耗零件的检查、更换。
检查项目
4-2-2
真空泵压力
实施频度 ：每天
检查内容
确认真空压力
通过点击，可切换显示/隐藏
操作手册
4-7
1) 请确认没有漏气
1）主机接通电源后，请选择「手动控制」项目，检查下列各项目的动作状况。
① 基板挡块部
② ATC 单元
手动控制
「使用说明书 第 9 章 手动控制」
在确认各项动作、检查传感器的开／关情况时，执行手动控制模式。
2）如果动作有问题，请参考『使用说明书 3-9 章 管道系统图』进行检查。
检查项目
4-2-3
管道及接头
实施频度 ：每周
检查内容
检查气压管道部分是否漏气
检查项目
4-2-4 各单元气缸
实施频度 ：每周
检查内容
检查各气缸的动作
检查漏气
＜左侧深处＞
指状阀
在功能栏上选择[手动控制]
即启动。