KE-3010A_20VA_20VRA_操作员手册.pdf - 第57页
操作手册 4- 16 1) 请把下图的各种传送 传感器的发光面 、受光面附着 的灰尘和垃圾清 除干净。 如果去不掉脏污 ，请沾少量的酒 精（ I PA ）进行清扫。 <M 、 L 、 L- W i de 基板规格 > 清扫部位 4-3-3 各种传送传感 器 实施频度 ：每月 清扫内容 清扫传感器视 窗 使用工具：棉纱布 推荐溶剂 ： IPA WAIT,STOP,C ・ OUT 传感器 IN,OUT 传感 器
操作手册
4-15
1）用棉纱布、柔软的布等，擦掉 X 轴普拉轨道安装的 CB（电缆套 CABLE VEYOR）支撑座内侧部分
的灰尘和异物。
清扫部位
4-3-2 X
轴
CB
支撑
实施频度
：每
6
个月
清扫内容
清扫灰尘、异物
使用工具
：棉纱布
CB 支撑部分
X 轴电缆套
CABLE VEYOR
操作手册
4-16
1) 请把下图的各种传送传感器的发光面、受光面附着的灰尘和垃圾清除干净。
如果去不掉脏污，请沾少量的酒精（IPA）进行清扫。
<M、L、L-Wide 基板规格>
清扫部位
4-3-3
各种传送传感器
实施频度
：每月
清扫内容
清扫传感器视窗
使用工具：棉纱布
推荐溶剂
：
IPA
WAIT,STOP,C・OUT 传感器
IN,OUT 传感器
操作手册
4-17
1) 检查 CAL 块① 上面和第一标记②上有无灰尘等异物，有异物时请进行清扫。
若第一标记处有脏污，可能会导致 MS 参数误设置。
如果去不掉脏污，请沾少量酒精（IPA）进行清扫。
清扫部位
4-3-4 CAL
块
实施频度
：每周
清扫内容
清扫
CAL
块
使用工具：棉纱布
推荐溶剂
：
IPA
①
②