KE-3010A_20VA_20VRA_操作员手册.pdf - 第89页
操作手册 4- 48 3 ） 从真空泵 拔下气管 、 束线 （电源） ，卸下固 定 V AC UUM_PU MP_ST A Y 的 六角头 铰制孔 用螺 栓（ M6 ： 13mm 扳手 ) 及六角 螺母 。 4 ） 将真空泵从主机里取 出。 ※ 取出时请注意 成捆的电线。 ※取出 真空泵时，请 勿把持连 接管。 ※取出 真空泵时，有 真空泵的 橡胶脚和 V ACUU M_PUMP_ BR 粘着 的情况。 连接管 气管 电源 V ACUU…
操作手册
4-47
考虑以下部件的损耗造成压力降低。
<损耗部件一览> 更换部件组货号：40138045
检查部位
使用数量
检查内容
检查方法
碗形密封垫圈
2
有无异常磨耗、硬化、龟裂等现象
目视
吸气阀 2 有无变形、硬化、缺损 目视
排气阀 2 有无变形、硬化、缺损 目视
O
环
P-10
4
有无变形、磨耗、硬化、龟裂等
目视
密封材
2
有无变形、硬化、龟裂等
目视
防止吸气阀碰触胶垫 2 有无裂口、硬化 目视
更换
更换真空泵准备
＜M、L、L-Wide 规格＞
※如果是电动台架规格，请按照前一项的「切带单元的更换」，拆下切带单元。
1） 确认真空泵没有运转。
（刚停止运转后会很热，请停止后放置 30 分钟左右，确认泵冷却之后再开始作业。）
2） 请拆下机器本体前侧右下部的盖子。
检查、更换
4-8-2
真空泵零件的更换
更换周期 ：1 年
使用工具 ：六角扳手、螺丝刀
盖子
（螺钉×4）
操作手册
4-48
3） 从真空泵拔下气管、束线（电源），卸下固定 VACUUM_PUMP_STAY 的六角头铰制孔用螺栓（M6：
13mm 扳手)及六角螺母。
4） 将真空泵从主机里取出。
※取出时请注意成捆的电线。
※取出真空泵时，请勿把持连接管。
※取出
真空泵时，有真空泵的橡胶脚和 VACUUM_PUMP_BR 粘着的情况。
连接管
气管
电源
VACUUM_PUMP_BR
VACUUM_PUMP_STAY
六角头铰制孔用螺栓
×2
六角螺母×2
操作手册
4-49
更换
密封圈的更换
1） 取下泵头盖的 4 个（左右合计共 8 个）内六角螺栓(M6×95）。
2） 取下泵头盖内测的黑色密封圈，共 2 个，更换上新的密封圈。
※确认密封圈完全放入泵头盖的密封圈圈槽内，请注意泵头盖和泵头盘间不要相互咬合。
3） 请将固定泵头盖用的内六角螺栓(M6×95）用 5.0N・m 对角拧紧。
※在更换其它消耗部件时，在不关闭盖（罩）子状态下，请参照各部位的更换工序项目
更换
更换
O
环
P-10
1） 用与更换密封圈同一要领，卸下泵头盖和泵头盘。
2） O 环 P-10 要安装到位于连接泵头罩之间的连接管上。
3） 更换中，请注意插入连接管时不要造成 O 环划伤。（ 1 根管内有 2 处）
※更换前，请清扫连接管的 O 环沟槽、泵头的连接管安装孔。盖（罩）子的安装，请按照密封圈的
更换顺序进行。要更换其它消耗部件时，请不要关闭盖（罩）子，参照各部位的更换步骤操作。
泵头盖
密封圈
内六角螺栓
(M6×95
）
泵头盖内侧
O 环 P-10
连接管