KE-3010A_20VA_20VRA_操作员手册.pdf - 第37页
操作手册 3- 22 2. 按下 [ 执行 检查 ] 。 如果安装有选购 项 VC S 时， 通过一次检 查，即可 进行标准 （装备） 、选 购项的脏 污检查。 1. 按下 [VCS 弄脏检查 ] 。 3. 确认状态是否为正常。 * 发现 “ 弄脏 ” 时，请按 照 「第 4 章 维 护」 进行 VC S 的清 扫。
操作手册
3-21
1.
请按下[检查激光弄脏]。
2.
显示「检查激光弄脏」画面。
按下[执行检查]。
3.
检查 LNC60 的激光窗口脏污。确认
状态为 OK，各项目为「无」。
*发现“弄脏”时，请按照「第 4 章 维护」
的说明，清扫激光单元。
5.
确认后，按下[确定]按钮。
4.
IC Head 为 FMLA 时，要选择[FMLA
激光]，进行与 LNC60 相同的[执行检查]。
如有必要，请进行激光单元的清扫。
操作手册
3-22
2.
按下[执行检查]。
如果安装有选购项 VCS
时，通过一次检
查，即可进行标准（装备）、选购项的脏
污检查。
1.
按下[VCS 弄脏检查]。
3.
确认状态是否为正常。
*发现“弄脏”时，请按照「第 4 章 维护」
进行 VCS 的清扫。
操作手册
3-23
Step6
执行生产。
在“基板生产”画面上设置“生产计划数量”，按下[开始开关]后，即开始生产。
警告
按下
[开始开关]
后，装置即开始移动。
为避免伤害人身，请绝对不要把手或头部等伸入装置内部。
要使用
IFS-NX 的选项功能时，需要在生产开始前完成元件核对工作。在未完成
元件核对工作的情况下按下开始开关时，会显示警告画面，不能开始生产
。
2.
按下「确定」按钮。
1.
执行「支援准备」的各项作业后,会
显示勾号。
确认所有项目均已显示勾号。
3.
显示「生产」的画面。
输入「生产计划数量」。
LASER ON
4.
按下[开始开关]后，开始生产。