RHS2B_维修手册(I O表).pdf - 第110页
RHS2B 维修手册 5.2 常规检查 5.2-22 DA4MCC-80- 020-A0 5.2.21 真空泵 图 5.2-20: 真 空泵 检查 周期 检查项目 每日 • 确保真空计读数为最 小 80 Kpa 。 • 用空气鼓风吹扫方法 ，清洗真空泵的过 滤器。 每月 • 用空气 鼓风吹扫方法， 清洗真空泵的冷 却散热片。 Cooling fins Filter 冷却散热片 过滤器
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维修手册
5.2 常规检查
DA4MCC-80-020-A0 5.2-21
5.2.20 主调压器
图 5.2-19: 主调压器
检查
周期 检查项目
• 确保主压力计读数为0.5 Mpa。
• 确保空气过滤器元件没有损坏。
每日
• 确保空气过滤器不堵塞。
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5.2 常规检查
5.2-22 DA4MCC-80-020-A0
5.2.21 真空泵
图 5.2-20: 真空泵
检查
周期 检查项目
每日
• 确保真空计读数为最小 80 Kpa。
• 用空气鼓风吹扫方法，清洗真空泵的过滤器。
每月
• 用空气鼓风吹扫方法，清洗真空泵的冷却散热片。
Cooling fins
Filter
冷却散热片
过滤器
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5.2 常规检查
DA4MCC-80-020-A0 5.2-23
5.2.22 主控制器
图
5.2-21: 主控制器
检查
周期 检查项目
每月
• 确保连接器没有松动。