CM101安装手册.pdf - 第31页
CM101-D 安装手册 1.2 设置步骤 Pa ge 1- 13 1.2.2 固定配件 ( 红色 ) 的拆卸 本机搬运时为了使 X 轴和 Y 轴不移动，使用固定 配件 ( 红色 ) 对其固定。 共有 3 个固定配件要全部 拆下。保管好拆下的固定 配件。 EJM5B-A K Y 轴固 定配件 B Y 轴固定配件 A X 轴固定配件 EJM5B- C-IMC01-A01-00
CM101-D
安装手册
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设置步骤
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1.2
设置步骤
要求
有关本机的设置请按照专业人员的指示进行。
在此对其设置步骤进行了简要的说明。
关于再次配置，请向服务中心咨询。
1.2.1
本机的安装
•
参照由客户准备的配置图，沿着所划的基准线安装本机。
在前工序和下一道工序之间基板应搬送顺畅，对机器的位置进行调整。
(
方向及搬送高度
)
•
请调整相邻的机器的传送带间隔，使其为
1 mm ~ 5 mm
以下。
EJM5B-C-IMC01-A01-00
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安装手册
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设置步骤
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1.2.2
固定配件
(
红色
)
的拆卸
本机搬运时为了使
X
轴和
Y
轴不移动，使用固定配件
(
红色
)
对其固定。
共有
3
个固定配件要全部拆下。保管好拆下的固定配件。
EJM5B-AK
Y 轴固定配件 B
Y 轴固定配件 A
X 轴固定配件
EJM5B-C-IMC01-A01-00
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设置步骤
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1.2.3
调整正确的水平位置
如下图所示位置安装水平仪
(0.02 mm/m)
，用调整螺栓调整至
1
刻度
(0.02 mm/m)
以下。调整后，
拧紧锁紧螺母对其固定。
:
水平衬垫
4
处
:
水平仪设置位置
5
处
通知
∗
我们推荐安装后以半年一次左右的频度确认水平位置。
EJM5B-AA
水平衬垫
EJM4A-149E
锁定螺母
调整螺栓
EJM5B-001E
EJM5B-C-IMC01-A01-00