操作手册.pdf - 第152页

CM602-L 操作手册 4.7 基板弯曲计测示教 (12 吸嘴用、 8 吸嘴用选购件 ) Pa ge 4- 46 10. 将基板设置在基板搬入口。 11. 按操作面板上的 + [ 示教开始 ] 。 12. 按 [ 数据选择 ] 。 • 显示选择计测点的画面 。 • 从第一个点依次按照顺 序进行识别时,使用 [ 次 识别位置 ] 。 13. 选择要确认的计测点。 14. 按操作面板上的 + [ 数据选择 ] 。 • 基板识别照相机将会移…

100%1 / 206
CM602-L
操作手册
4.7
基板弯曲计测示教
(12
吸嘴用、
8
吸嘴用选购件
)
Page 4-45
5.
[
基板弯曲计测
]
<
基板弯曲计测
>
画面将被显示。
6.
选择工作台
1,2
(
高度计测传感器位于工作
1
上时
)
7.
[
基板弯曲计测数据修正
]
<
基板弯曲计测数据
>
画面将被显示。
8.
确认在基板弯曲计测点数据的坐标中是否
设定好适当的数值。
若不适当时请修正。
关于
[
基板弯曲
]
[
块弯曲
(
展开
)]
,请参照
程序手册
“1.10
基板弯曲计测点数据
9.
按功能键的
下一页
EJM8A-Dm-0058
6
7
EJM8A-Dm-0016
5
EJM8A-Dm-0009
9
8
EJM8A-C-OMC04-A02-01
CM602-L
操作手册
4.7
基板弯曲计测示教
(12
吸嘴用、
8
吸嘴用选购件
)
Page 4-46
10.
将基板设置在基板搬入口。
11.
按操作面板上的
+
[
示教开始
]
12.
[
数据选择
]
显示选择计测点的画面
从第一个点依次按照顺序进行识别时,使用
[
识别位置
]
13.
选择要确认的计测点。
14.
按操作面板上的
+
[
数据选择
]
基板识别照相机将会移至计测点。
在画面上显示的面之中央即为计测位置。
请用目试确认该基板面符合基板表面的条件。
请参照参考手册
基板弯曲传感器
的基板
计测点的条件。
下一页
EJM8A-C-OMC04-A02-01
EJM8A-Dm-0058
11
EJM8A-Dm-0021
13
14
EJM8A-Dm-0019
12
CM602-L
操作手册
4.7
基板弯曲计测示教
(12
吸嘴用、
8
吸嘴用选购件
)
Page 4-47
15.
按下操作面板上的
+
[
计测检
]
计测计测点,以及其周围的
4
个点
(
离计测点
1mm
的点
)
将会自动计测包括计测点的周围
4
个点后,并
在画面
c
g
显示计测值。
请确认以下的点。
5
个点的最大值和最小值之间的差在
0.1 mm
下。
不能得到稳定的计测结果时,请用微调等方法
调整到适合计测的位置后,再次进行计测检验。
16.
[
完成
]
位置将被登录。
若按下操作面板的
+
[
次识别位置
]
,则
基板识别照相机将移至下一个计测点位置,同
样能够进行示教。
17.
按功能键的
18.
按操作面板上的
+
[
计测检验
]
测定全部点。
下一页
EJM8A-C-OMC04-A02-01
EJM8A-Dm-0019
15
MEDI-078C
EJM8A-Dm-0019
16
17
EJM8A-Dm-0058
18