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Key No. P AR T No. P AR T NAME Q’ty REMARKS NOTE C-S104-16 0604-001 15 6-3 1 630 059 8018 FRAME 1 659J--03B-102 2 630 054 4480 PLA TE 1 659J--03B-128 3 41 1 141 3902 W ASHER V 3X7X0.5 2 FW3 4 41 1 141 2806 W ASHER SPR 3 …

100%1 / 66
C-S104-16
0604-001
14
XY
テーブル部
XY TABLE SECTION
Fig. 6-3
バックアップテーブル
Back-up Table
52
83
80
77
78
76
79
75
62
61
62
63
60
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72
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51
20
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17-1
15
14
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56
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8
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18
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6
2
3
4
5
22
23
24
6
17
17-1
44
45
46
20
19
18
Y
H
H
X
Y
30
31
58
82
POSITIONING PIN P1
(VARIANT
)
POSITIONING PIN Q1
(VARIANT)
POSITIONING PIN R1
(VARIANT
)
1
Key No. PART No. PART NAME Q’ty REMARKS
NOTE
C-S104-16
0604-001
15
6-3
1 630 059 8018 FRAME 1 659J--03B-102
2 630 054 4480 PLATE 1 659J--03B-128
3 411 141 3902 WASHER V 3X7X0.5 2 FW3
4 411 141 2806 WASHER SPR 3 2 SW3
5 630 000 7527 BOLT,HEX-SCT 2 M3X10
6 630 065 8996 MECH PARTS(SCREW STOPPERS 4 659J--03H-105
8 630 054 4466 PLATE 1 659J--03B-125
9 630 004 1798 SENSOR,PHOTO 2 PHS64,PHS65 659J--03H-103
10 630 000 0269 SENSOR,PHOTO(CONNECTOR) 2 659J--03H-021
11 411 088 9005 WASHER F 3X6X0.5 4 FWS3 F
12 411 086 4408 WASHER SPR 3 4 SW3 F
13 411 041 8908 SCR PAN 3X6 4 M3X6 PAN
14 411 141 3902 WASHER V 3X7X0.5 2 FW3
15 411 141 2806 WASHER SPR 3 2 SW3
16 630 000 7527 BOLT,HEX-SCT 2 M3X10
17 630 054 9034 GUIDE,LINEAR 2 659J--03H-108
17 -1 630 061 2745 GUIDE,LINEAR 2 659J--03H-130
18 411 141 3902 WASHER V 3X7X0.5 16 FW3
19 411 141 2806 WASHER SPR 3 16 SW3
20 630 000 7527 BOLT,HEX-SCT 16 M3X10
22 411 141 4008 WASHER V 4X9X0.8 2 FW4
23 411 141 2905 WASHER SPR 4 2 SW4
24 630 000 7633 BOLT,HEX-SCT 2 M4X12
26 411 141 4107 WASHER V 5X10X1 2 FW5
27 411 141 6705 WASHER SPR 5 2 SW5
28 630 000 7756 BOLT,HEX-SCT 2 M5X12
30 630 056 7076 PLATE 1
659J--A03001B-A140
31 630 059 2467 PLATE 1
659J--A03001B-A169
41 411 141 4008 WASHER V 4X9X0.8 16 FW4
42 411 141 2905 WASHER SPR 4 16 SW4
43 630 000 7657 BOLT,HEX-SCT 16 M4X16
44 411 141 4305 WASHER V 6X12.5X1.6 4 FW6
45 411 141 3001 WASHER SPR 6 4 SW6
46 630 000 7909 BOLT,HEX-SCT 4 M6X25
51 630 057 3091 BASE 1 659J--03B-101
52 630 000 7626 BOLT,HEX-SCT 12 M4X10
53 630 054 4497 PLATE 1 659J--03B-130
54 411 141 3902 WASHER V 3X7X0.5 8 FW3
55 411 141 2806 WASHER SPR 3 8 SW3
56 630 000 7558 BOLT,HEX-SCT 8 M3X16
58 630 058 9047 PIN,LOCATE 1 659J--03B-139
59 630 008 1213 BOLT,HEX-SCT 2 659J--03H-114
60 630 060 9479 ASSY,LEVER 1
61 630 054 4503 BLOCK 1 659J--03B-131
62 630 001 1609 BEARING,RADIAL 2 659J--03H-110
63 630 054 4510 SHAFT 1 659J--03B-134
64 630 054 4541 PLATE 1 659J--03B-135
65 630 001 1609 BEARING,RADIAL 2 659J--03H-110
66 411 141 5906 WASHER F 4X8X0.8 2 FWS4
67 630 001 1579 BEARING,RADIAL 1 659J--03H-112
Key No. PART No. PART NAME Q’ty REMARKS
NOTE
16
C-S104-16
0604-001
6-3
68 630 000 7633 BOLT,HEX-SCT 1 M4X12
69 630 058 3458 SPRING,TORSION 1 659J--03B-136
70 630 054 8884 SHAFT 1 659J--03B-137
71 630 054 8907 PLATE 1 659J--03B-138
72 411 141 0109 NUT HEX 3 1 M3-3
73 630 000 7565 BOLT,HEX-SCT 1 M3X20
74 630 000 7527 BOLT,HEX-SCT 1 M3X10
75 630 058 9061 COLLAR 1 659J--03B-156
76 630 087 3535 PLATE 1 659J--03B-133
77 630 042 2955 SPRING,TORSION 1 659J--03B-132
78 411 141 4107 WASHER V 5X10X1 1 FW5
79 630 000 7510 BOLT,HEX-SCT 1 M3X8
80 630 008 1213 BOLT,HEX-SCT 1 659J--03H-114
84 630 008 1213 BOLT,HEX-SCT 1 659J--03H-114