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C-S104-16 0604-001 22 XY テーブル部 XY T ABLE SECTION Fig. 6-5 基板検出レバー P .C.B. Detector Lever 1 12 1 1 10 5 6-1 6 7 8 9 2 3 4 See Fig.6-4 Key No.41 24 See Fig.6-4 Key No.1 25 23 30 31 32 26-1 26 27 28 29 22 21 See Fig.6-4 Key…
MEMO
C-S104-16
0604-001
22
XY
テーブル部
XY TABLE SECTION
Fig. 6-5
基板検出レバー
P.C.B. Detector Lever
1
12
11
10
5
6-1
6
7
8
9
2
3
4
See Fig.6-4
Key No.41
24
See Fig.6-4
Key No.1
25
23
30
31
32
26-1
26
27
28
29
22
21
See Fig.6-4
Key No.21
Key No. PART No. PART NAME Q’ty REMARKS
NOTE
C-S104-16
0604-001
23
6-5
1 630 054 4398 PLATE 1 659J--03B-114
2 630 054 8938 SPRING,TORSION 1 659J--03B-116
3 630 054 8914 PLATE 1 659J--03B-118
4 630 000 8883 SET SCREW 1 M3X4 SET
5 630 054 4343 PLATE 1 659J--03B-120
6 630 004 1798 SENSOR,PHOTO 1 659J--03H-103
6 -1 630 000 0269 SENSOR,PHOTO(CONNECTOR) 1 PHS56 659J--03H-021
7 411 088 9005 WASHER F 3X6X0.5 2 FWS3 F
8 411 086 4408 WASHER SPR 3 2 SW3 F
9 411 042 0703 SCR PAN 3X8 2 M3X8 PAN
10 411 141 3902 WASHER V 3X7X0.5 2 FW3
11 411 141 2806 WASHER SPR 3 2 SW3
12 630 000 7527 BOLT,HEX-SCT 2 M3X10
21 630 054 4336 PLATE 1 659J--03B-113
22 630 054 4329 SPRING,TORSION 1 659J--03B-115
23 630 054 4312 PLATE 1 659J--03B-117
24 630 000 8883 SET SCREW 1 M3X4 SET
25 630 063 1425 PLATE 1 659J--03B-119
26 630 004 1798 SENSOR,PHOTO 1 PHS55 659J--03H-103
26 -1 630 000 0269 SENSOR,PHOTO(CONNECTOR) 1 659J--03H-021
27 411 088 9005 WASHER F 3X6X0.5 2 FWS3 F
28 411 086 4408 WASHER SPR 3 2 SW3 F
29 411 040 6202 SCR PAN 3X10 2 M3X10 PAN
30 411 141 3902 WASHER V 3X7X0.5 2 FW3
31 411 141 2806 WASHER SPR 3 2 SW3
32 630 000 7527 BOLT,HEX-SCT 2 M3X10