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NPM-W X / W XS EJM9DC-MB-02T -00 基板搬出错误 基板搬入错误 基板连结检出错误 传送带任务处理错误 错误代码 错误信息 错误原因 检查和对策 基板没有被正常搬送。 ( 发生了单一停止错误。 ) 请确认设备内部后取出基板 21002 基板没有被正常搬送。 ( 发生了单一停止错误。 ) 请确认设备内部后取出基板 21003 基板搬入时超时。 ( 发生了基板搬入错误。 ) 请实施其中某个对策。 1) 请确认传送…
NPM-WX / WXS EJM9DC-MB-02T-00
品种名不一致
品种名不一致
主供料器超时
高度计测动作异常
局域高度结果范围异常
错误
信息
故障排除
2-1-3
单一停止错误 38
错误代码
错误信息
错误原因 检查和对策
高度计测的测定结果有偏差。
(发生了单一停止错误。)
请实施其中某个对策。
1)请确认基板。
2)请确认局域高度结果范围容许值的
设定值
22095
因高度传感器的计测动作导致
了异常。
(发生了单一停止错误。)
请联系本公司并将错误发生状况和错
误内容发送给本公司
22096
在等待主供料器的吸着准备结
束时发生超时。
(发生了单一停止错误。)
请确认供料器
22097
发生了产品品种名不一致。
(发生了单一停止错误。)
请确认是否和前工序的生产品种名一
致
22098
基板没有被正常搬送。
(发生了单一停止错误。)
请确认设备内部后取出基板
21001
2-1-3-75
NPM-WX / WXS EJM9DC-MB-02T-00
基板搬出错误
基板搬入错误
基板连结检出错误
传送带任务处理错误
错误代码
错误信息
错误原因 检查和对策
基板没有被正常搬送。
(发生了单一停止错误。)
请确认设备内部后取出基板
21002
基板没有被正常搬送。
(发生了单一停止错误。)
请确认设备内部后取出基板
21003
基板搬入时超时。
(发生了基板搬入错误。)
请实施其中某个对策。
1)请确认传送带上的基板和基板检出
传感器的状态。
2)请确认传送带的宽度
21004
基板搬出时超时。
(发生了基板搬出错误。)
请实施其中某个对策。
1)请确认传送带上的基板和基板检出
传感器的状态。
2)请确认传送带的宽度
21005
2-1-3-76
NPM-WX / WXS EJM9DC-MB-02T-00
基板有错误
后工序要求OFF的超时
错误
基板搬出后传感器异常
错误
信息
故障排除
2-1-3
单一停止错误 39
错误代码
错误信息
错误原因 检查和对策
基板搬出后停止位置传感器
打开了。
(发生了基板搬出后传感器异
常。)
请实施其中某个对策。
1)请确认传送带上的基板和基板检出
传感器的状态。
2)请确认传送带的宽度
21006
基板排出后后工序机器的基
板要求信号在设定时间内没
有关闭。
(发生了后工序要求关闭等待
超时。)
请实施其中某个对策。
1)请确认传送带上的基板和基板检出
传感器的状态。
2)请确认基板排出等待时间(要求关
闭)的设定值
21007
基板搬入时基板停止位置传感
器已经打开。
(基板搬入时检测有基板。)
请确认传送带上的基板和基板检测传
感器的状态
21008
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