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NPM-W X / W XS EJM9DC-MB-02T -00 吸嘴干涉领域突入 ( 后侧前列 ) 吸嘴干涉领域突入 ( 前侧后列 ) 吸嘴干涉领域突入 ( 前侧前列 ) 错误 信息 故障排除 2-1-4 紧急停止错误 8 错误代码 错误信息 错误原因 检查和对策 可考虑以下某种原因。 1) 可能是 Z 轴干涉领域传感器 的故障或断线。 2) 可能是 Y 轴干涉领域传 感器 的故障或断线。 ( 发生了互锁。 ) 在 [ 机器 ]-[ …
NPM-WX / WXS EJM9DC-MB-02T-00
支架位置错误
(右侧)
支架位置错误
(左侧)
错误代码
错误信息
错误原因 检查和对策
基板支撑块没有完全下降。
(发生了互锁。)
请实施其中某个对策。
1)请确认上下旋转轴润滑油的状态。
2)请去除工作台和本体之间的异物。
再次发生时,有可能是传感器偏移
或者故障。请联系本公司
30021
基板支撑块没有完全下降。
(发生了互锁。)
请实施其中某个对策。
1)请确认上下旋转轴润滑油的状态。
2)请去除工作台和本体之间的异物。
再次发生时,有可能是传感器偏移
或者故障。请联系本公司
30022
2-1-4-13
NPM-WX / WXS EJM9DC-MB-02T-00
吸嘴干涉领域突入
(后侧前列)
吸嘴干涉领域突入
(前侧后列)
吸嘴干涉领域突入
(前侧前列)
错误
信息
故障排除
2-1-4
紧急停止错误 8
错误代码
错误信息
错误原因 检查和对策
可考虑以下某种原因。
1)可能是Z轴干涉领域传感器
的故障或断线。
2)可能是Y轴干涉领域传感器
的故障或断线。
(发生了互锁。)
在[机器]-[调整]-[全体]-[输入确认]画
面中确认出异常时,请联系本公司
30023
可考虑以下某种原因。
1)可能是Z轴干涉领域传感器
的故障或断线。
2)可能是Y轴干涉领域传感器
的故障或断线。
(发生了互锁。)
在[机器]-[调整]-[全体]-[输入确认]画
面中确认出异常时,请联系本公司
30024
可考虑以下某种原因。
1)可能是Z轴干涉领域传感器
的故障或断线。
2)可能是Y轴干涉领域传感器
的故障或断线。
(发生了互锁。)
在[机器]-[调整]-[全体]-[输入确认]画
面中确认出异常时,请联系本公司
30025
2-1-4-14
NPM-WX / WXS EJM9DC-MB-02T-00
伺服驱动异常
(后侧X轴)
伺服驱动异常
(前侧Y轴)
伺服驱动异常
(前侧X轴)
吸嘴干涉领域突入
(后侧后列)
错误代码
错误信息
错误原因 检查和对策
可考虑以下某种原因。
1)可能是Z轴干涉领域传感器
的故障或断线。
2)可能是Y轴干涉领域传感器
的故障或断线。
(发生了互锁。)
在[机器]-[调整]-[全体]-[输入确认]画
面中确认出异常时,请联系本公司
30026
伺服驱动发生了异常。
(发生了互锁。)
1)请确认XY轴里有没有障碍物,并重
新启动。
2)再次发生时请联系本公司
30027
伺服驱动发生了异常。
(发生了互锁。)
1)请确认XY轴里有没有障碍物,并重
新启动。
2)再次发生时请联系本公司
30028
伺服驱动发生了异常。
(发生了互锁。)
1)请确认XY轴里有没有障碍物,并重
新启动。
2)再次发生时请联系本公司
30029
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