N7201A707C.pdf - 第136页

NPM-W X / W XS EJM9DC-MB-02T -00 基板有错误 后工序要求 OFF 的超时 错误 基板搬出后传感器异常 错误 信息 故障排除 2-1-3 单一停止错误 39 错误代码 错误信息 错误原因 检查和对策 基板搬出后停止位置传感器 打开了。 ( 发生了基板搬出后传感器异 常。 ) 请实施其中某个对策。 1) 请确认传送带上的基板和基板检出 传感器的状态。 2) 请确认传送带的宽度 21006 基板排出后后工序机器…