Schmtic_GPX_07_.pdf - 第96页
Downloaded at 2010/04/07 18:31 JST by 3PYM4216 DL#jdS6Xojc 外付基板真空 y l t 力 1 御 B K T P A N E L V A C U U M P U M P B K T F 3 I V 2 ( U 2 / F 3 ) 0 > PI P 2 ■ 6 R / L 1 U M S I / 2 / 3 C N 1 - 1 1 / 2 / 3 ICN 2 - 1 ■ 6 …
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Ut
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03
REMOTE
I
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3
制御麵
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CONTROL
BOARD
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PUMP
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BKT
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PUMP
BKT
外付基板真岛切制御
BKT
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RX
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1
/
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(
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PCB
7
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REMOTE
1
/
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7
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1
制御基板
(
1
PCB
7
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AP
7
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1
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MOPCBO
CONTROL
BOARD
API
/
M
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S
PANEL
VACUUM
PUMP
BKT
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BKT
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一厶圧力
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PANEL
VACUUM
PRESSURE
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CN
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CN
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-
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NOTE
1
:
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PAGE
IS
OPTION
外付
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（
1
/
2
)
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INSTALLATIONC
1
/
2
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電気回路綱
CIRCUIT
DIAGRAM
NAME
PAGE
92
93
TITLE
基浦
]
-
厶制御回路
BOARD
VACUUM
CONTROL
CIRCUIT
TYPE
GPX
DRAWING
No
.
F
3
RE
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CONIPI
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^
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ADDRESS
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9227
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N
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L
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PANEL
VACUUM
PUMP
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>
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基板吸着八牛
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-
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PANEL
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PUMP
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DP
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外付基板真空
ylt
力
1
御
BKT
PANEL
VACUUM
PUMP
BKT
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W
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RX
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2
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1
ADDRESS
J
9205
ADDRESS
9208
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1
ADDRESS
-
1
9217
9321
RX
024
RY
02
D
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9323
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1
R
9302
ADDRESS
S
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9103
9304
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9306
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9309
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9324
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1
9325
9312
9326
93
13
9327
93
14
9328
9329
注
i
:
cox
-
ytt
才
N
0
TE
1
:
THIS
PAGE
IS
OPTION
外付
(
例艾
（
2
/
2
)
EXTERNAL
INSTALLATION
(
2
/
2
)
電気回路線図
CIRCUIT
DIAGRAM
NAME
PAGE
，
93
TITLE
_
ff
]
-
厶制御回路
BOARD
VACUUM
CONTROL
CIRCUIT
TYPE
GPX
DRAWING
No
.
X
F
3
RE
03002
■
ZEES
ZEEQ
.
CN
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92 0
1
92 02
92 03
(
21
PCB
1
)
API
/
21
乂牛
-
獨卸麵
921 5
92 16
八
:
V
夕
'
隨検出
SOLDER
REMAINING
DETECTION
92 1 7
922 9
注
i
:
cox
-
ytt
才
NOTE
1
:
THIS
PAGE
IS
OPTION
電気回路綱
CIRCUIT
DIAGRAM
NAME
PAGE
92
93
TITLE
八
；
y
夕
'
自動供給制御回路
S
)
LD
[
R
AUTO
SUPPLY
CONTROL
CIRClJIT
TYPE
GPX
DRAWING
No
.
22
RE
03010
9214
9228
9213
9227
9212
9226
92
9225
92
0
9224
9208
9222
八
>
夕
、
供給装蜃前進繼認
SOLDER
SUPPLY
UNIT
ADVANCE
CHECK
9209
9223
9206
9220
下降端確認
SYRINGE
LOWER
LIMIT
CHECK
9207
9221
9204
9218
、
:
/
切上昇繼認
SYRINGE
UPPER
LIMIT
CHECK
9205
9219
s
OPTION
X
109
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X
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A
-
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iCN
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