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xxx ■ 라 벨부 착 위치 경고표시 라벨 ■ 헤드부 ■ 카메라 유니트 ■ SC축 리니어 스케일부 ■ 컨트롤러 ■ 컨트롤러 상면 ■ 컨트롤러 정면 패널부 97203-L2- 20

xxix

■ 라벨부착 위치

경고표시 라벨

정면 2

■ 피더세팅부 (전후 각 2군데)

■ X축 프레임부 (전후)

■ Y축 리니어 스케일부

■ 하부 패널부 (전후)

3

3

2. 분해금지

2

2

3

2

1

1. 손대지마

1. 손대지마

■ 패널 내부

■ 측면 (좌후)

3. 강자계 주의

리니어 커버

리니어 모터

97202-L2-10

xxx

■ 라벨부착 위치

경고표시 라벨

■ 헤드부

■ 카메라 유니트

■ SC축 리니어 스케일부

■ 컨트롤러

■ 컨트롤러 상면

■ 컨트롤러 정면 패널부

97203-L2-20

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총목차

머리말

1. 각 장의 내용 i

2. 유지보수 항목일람 ii

제 1 장 유지보수에 대하여

1. 장비의 성능을 유지하기 위해서는 1-1

1.1 필수조건 및 환경조건 1-1

1.2 정기적인 점검과 청소의 중요성 1-2

2. 유지보수 작업의 준비 1-3

2.1 소모품과 교환부품 ( 고장시 ) 1-3

2.1.1 소모품 1-3

2.1.2 노즐 1-6

2.1.3 교환부품 ( 고장시 ) 1-7

2.2 유지보수 공구 1-8

2.2.1 클리닝 툴 1-8

2.2.2 급유 툴

•

구리스 1-10

2.2.3 스페셜 툴 1-12

2.3 필요공구 1-13

제 2 장 일상적인 유지보수 항목

작업하기 전에 2-1

1. 노즐상태의 확인 2-2

1.1 소프트웨어로 확인하기 2-2

1.1.1 노즐 해방시의 진공레벨 2-4

1.2 육안으로 확인하기 2-5

2. 피더 플레이트의 청소 2-6

제 3 장 정기적인 유지보수 항목

1. 매주 3-1

1.1 노즐의 점검 3-1

1.1.1 노즐 탄성력의 확인 3-1

1.1.2 노즐 판스프링의 상태확인 3-2

1.2 노즐의 청소와 급유 3-3

1.2.1 노즐 스프링의 청소와 급유 3-3

1.2.2 노즐 선단부의 청소 3-4

1.3 컨베이어 센서의 상태와 동작확인 3-6

1.4 기판 클램프의 상태와 동작확인 3-7

1.4.1 기판 클램프의 상태 확인 3-7

1.4.2 기판 클램프의 동작 확인 3-7