JMM709A100_YS12PFYG12F.pdf - 第27页

xxv ■ラベル貼り付け位置(ATS15) 警告表示ラベル ATS15 (YS12F, YG12F) ■ 開閉カバー内部 ■ ドア開口部 91201-R7-00

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■ラベル貼り付け位置( ヘッド、コントローラー )

警告表示ラベル

■ ヘッド部

■ Z軸リニアスケール部

■ SC軸リニアスケール部

■ カメラユニット

■ カメラユニット

■ コントローラ上面

■ コントローラ正面パネル部

■ コントローラ部

90K41-000720

90K41-000720

91204-M7-00

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■ラベル貼り付け位置(ATS15)

警告表示ラベル

ATS15 (YS12F, YG12F)

■ 開閉カバー内部

■ ドア開口部

91201-R7-00

総目次

はじめに

 1. 各章の内容 1

 2. メンテナンス項目一覧 2

第 1 章 メンテナンスについて

 1. マシンの性能を維持するためには 1-1

1.1 必須条件および環境条件 …………………………………………………… 1-1

1.2 定期的な点検・清掃の重要性 ……………………………………………… 1-1

 2. メンテナンス作業の準備 1-2

2.1 消耗品と交換部品 ( 故障時 )………………………………………………… 1-2

2.1.1 消耗品 ………………………………………………………………………………1-2

2.1.2 交換部品 ( 故障時 ) ………………………………………………………………………1-4

2.2 メンテナンスツール ………………………………………………………… 1-5

2.2.1 クリーニングツール ………………………………………………………………………1-5

2.2.2 給油ツール・グリス ………………………………………………………………………1-7

2.3 必要工具 ……………………………………………………………………… 1-9

第 2 章 日常行っていただきたい項目

 作業の前に 2-1

 1. ノズル状態の確認 2-2

1.1 ソフトウェアで確認する …………………………………………………… 2-2

1.2 目視で確認する ……………………………………………………………… 2-4

 2. フィーダープレートの清掃 2-5

 3. カメラ保護ガラスの清掃 2-6

第 3 章 定期的に行っていただきたい項目

 1. 毎週 3-1

1.1 ノズルの点検と清掃 ………………………………………………………… 3-1

1.1.1 バフィング部の点検と清掃 ………………………………………………………………3-1

1.1.2 板バネの確認 ………………………………………………………………………………3-3

1.1.3 ノズル先端の清掃 …………………………………………………………………………3-3

1.2 コンベアセンサーの状態･動作確認 ……………………………………… 3-4

1.3 基板クランプの状態･動作確認 …………………………………………… 3-5

1.3.1 基板クランプ状態の確認 …………………………………………………………………3-5

1.3.2 基板クランプ動作の確認 …………………………………………………………………3-5

 2. 毎月または隔月 3-6

2.1 ノズルエア経路の清掃 ( 毎月 )……………………………………………… 3-6