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第 3 章 定期的に行っていただきたい項目 目次 1. 毎週 3- 1 1.1 ノズルの点検と清掃 3- 1 1.1.1 バフィング部の点検と清掃 3- 1 1.1.2 板バネの確認 3- 3 1.1.3 ノズル先端の清掃 3- 3 1.2 コンベアセンサーの状態 ･ 動作確認 3- 4 1.3 基板クランプの状態 ･ 動作確認 3- 5 1.3.1 基板クランプ状態の確認 3- 5 1.3.2 基板クランプ動…
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3.カメラ保護ガラスの清掃
マルチビューカメラの保護ガラスにホコリなどが付着していると、部品認識エラーの原因になることがありま
す。これを防ぐために定期的に点検・清掃することをお勧めします。
e
作業を安全に行うため、マシンが非常停止状態、あるいはマシンの電源スイッチが OFF になっていることを確
認してください。
1
光学系ブラシで保護ガラス上のホコリ
を払います。
51207-L6-00
参考
光学系ブラシはオプション購入品となります。
2
ウエスで保護ガラスを拭きます。
ウエスにレンズクリーナーを数滴付けて保護ガラ
スを拭いてください。
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n
要点
ウエスはホコリの出ないものを使用してください。
レンズクリーナーはオプション購入品となります。
光学系ブラシでホコリを払う
Step 1
光学系ブラシ
ウエスで保護ガラスを拭く
Step 2
ホコリの出ないウエス
第 3 章
定期的に行っていただきたい項目
目次
1. 毎週 3-1
1.1 ノズルの点検と清掃 3-1
1.1.1 バフィング部の点検と清掃 3-1
1.1.2 板バネの確認 3-3
1.1.3 ノズル先端の清掃 3-3
1.2 コンベアセンサーの状態 ･ 動作確認 3-4
1.3 基板クランプの状態 ･ 動作確認 3-5
1.3.1 基板クランプ状態の確認 3-5
1.3.2 基板クランプ動作の確認 3-5
2. 毎月または隔月 3-6
2.1 ノズルエア経路の清掃 ( 毎月 ) 3-6
2.2 各軸の点検 ( 毎月 ) 3-7
2.3 X,Y,W 軸の清掃・給油 ( 隔月 ) 3-8
2.3.1 X, Y, W 軸ボールスクリューの清掃・給油 3-8
2.3.2 X, Y, W 軸リニアガイドの清掃・給油 3-11
2.4 PU( プッシュアップ ) 軸の点検、清掃と給油 ( 隔月） 3-13
2.5 基板搬送ベルトの点検と清掃（隔月） 3-15
3. 3 ヶ月 3-16
3.1 エジェクターフィルターの清掃・交換 3-16
3.1.1 エジェクター真空圧力の点検 3-17
3.1.2 ブローバルブの動作確認 ( 各ヘッド単体 ) 3-18
3.1.3 清掃用ブローバルブの動作確認 ( 連動 ) 3-18
3.2 スプラインシャフト内の清掃・給油 3-19
3.2.1 スプラインシャフト内の洗浄 3-19
3.2.2 負圧状態の確認 3-22
3.3 スプラインシャフトの動作確認と給油 3-23
3.4 SC 軸フレックスケーブルの確認 (YS12P) 3-24
3.5 エア / ミストフィルターの点検・清掃 3-25
3.6 6 角スプラインの清掃・給油 3-27
