JMM709A100_YS12PFYG12F.pdf - 第52页
4. 6 ヶ月 /1 年 3-2 8 4.1 フィデューシャルカメラ照明ユニットの清掃 (6 ヶ月 ) 3-2 8 4.2 R 軸スプラインベルトの状態確認 (1 年 ) 3-2 9 4.3 ブローステーションフィルターの清掃と交換 (1 年 )--- オプション 3-3 0 4.4 ノズルステーションセンサーの状態確認 (1 年 )--- オプション 3-3 1 4.5 コントローラー用フィルター点検…
第 3 章
定期的に行っていただきたい項目
目次
1. 毎週 3-1
1.1 ノズルの点検と清掃 3-1
1.1.1 バフィング部の点検と清掃 3-1
1.1.2 板バネの確認 3-3
1.1.3 ノズル先端の清掃 3-3
1.2 コンベアセンサーの状態 ･ 動作確認 3-4
1.3 基板クランプの状態 ･ 動作確認 3-5
1.3.1 基板クランプ状態の確認 3-5
1.3.2 基板クランプ動作の確認 3-5
2. 毎月または隔月 3-6
2.1 ノズルエア経路の清掃 ( 毎月 ) 3-6
2.2 各軸の点検 ( 毎月 ) 3-7
2.3 X,Y,W 軸の清掃・給油 ( 隔月 ) 3-8
2.3.1 X, Y, W 軸ボールスクリューの清掃・給油 3-8
2.3.2 X, Y, W 軸リニアガイドの清掃・給油 3-11
2.4 PU( プッシュアップ ) 軸の点検、清掃と給油 ( 隔月） 3-13
2.5 基板搬送ベルトの点検と清掃（隔月） 3-15
3. 3 ヶ月 3-16
3.1 エジェクターフィルターの清掃・交換 3-16
3.1.1 エジェクター真空圧力の点検 3-17
3.1.2 ブローバルブの動作確認 ( 各ヘッド単体 ) 3-18
3.1.3 清掃用ブローバルブの動作確認 ( 連動 ) 3-18
3.2 スプラインシャフト内の清掃・給油 3-19
3.2.1 スプラインシャフト内の洗浄 3-19
3.2.2 負圧状態の確認 3-22
3.3 スプラインシャフトの動作確認と給油 3-23
3.4 SC 軸フレックスケーブルの確認 (YS12P) 3-24
3.5 エア / ミストフィルターの点検・清掃 3-25
3.6 6 角スプラインの清掃・給油 3-27
3-1
3
1.毎週
ここでは毎週の間隔で点検・清掃を中心に説明を行います。
1.1 ノズルの点検と清掃
バフィング動作 ( スプリング動作 ) の不良は吸着エラーの原因となります。これを防ぐために各ノズルの清掃を
行ってください。
1.1.1 バフィング部の点検と清掃
■バフィング状態の確認
ノズルのバフィング状態を確認してください。押してみて正常に戻れば問題ありませんが、戻りが悪いと吸着
エラーや認識エラーなどが発生します。
ノズルのバフィング状態
ノズル先端部を指で押す
元に戻る
戻りが悪い
戻らない
OK NG
51300-L6-00