SM481_Service Manual.pdf - 第191页

ANC 3 第 10 章 . ANC 10.1. ANC Modu le 10.1.1. 所需工具  T 型扳手 ( 其它随机工具 ) 或六角扳手  扳手或扭力扳手  镊子、电缆带 10.1.2. ANC Modu le 替换次序 1. 操作示教框，把 X Fr ame 移动到后面。 2. 请正常关闭 PC 后，关闭设备前面的 Ma in Sw itc h 。 3. 除去下图中所示的固定螺丝，分离不良 ANC Modul e …

ANC

第 10 章. ANC

10.1. ANC Module

10.1.1. 所需工具

 T型扳手(其它随机工具)或六角扳手

 扳手或扭力扳手

 镊子、电缆带

10.1.2. ANC Module替换次序

1. 操作示教框，把X Frame移动到后面。

2. 请正常关闭PC后，关闭设备前面的Main Switch。

3. 除去下图中所示的固定螺丝，分离不良ANC Module。

Advanced High Speed Flexible Mounter

4. 更换新的气缸。

参考

新更换的气缸的零件号(Part No.)是 AM03-006977A.

5. 按照拆卸过程的相反顺序进行组装。

6. 组装新ANC Module。此时,确保器具组装程度X Gantry和ANC平行度: 0.02 mm 以内.

7. 作业完成后，打开设备前面的Main Switch，启动PC。

8. 请更新ANC的Fiducial Position & Mark。

 按Scan使Teaching坐标的误差X,Y diff值到0.005mm以内时为止反复进行补正。

 为适用Scan补正的坐标，暂先关闭ANC画面，再重新打开。

 请确认ANC Pocket的 Position。