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1-7 Tg1356-ID-SO 0609-003 1.5 動作概要 (1) フラックスをのせたドラム ( 回転ディスク ) に対して、所定の 高さに設定されたスキージにより膜厚を均一にします。 (2) フラックス塗布直前にドラム ( 回転ディスク ) を停止させ、フ ラックス転写動作を行います。 Fig.4 1.5 動作概要

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Tg1356-ID-SO
0609-003
1.4 装置構成と名称
Fig.2
Fig.3
1.4 装置構成と名称

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0609-003
1.5 動作概要
(1) フラックスをのせたドラム ( 回転ディスク ) に対して、所定の
高さに設定されたスキージにより膜厚を均一にします。
(2) フラックス塗布直前にドラム ( 回転ディスク ) を停止させ、フ
ラックス転写動作を行います。
Fig.4
1.5 動作概要

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