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2-4 JO-108 1005-002 (4)󲗍 配線を結束バンドで固定します。 配線の結束バンドとタイマウントを合わせ、 付属の結束バンドでタイマ ウントに固定します。 タイマウント 結束する Fig. B5 󲗍 カメラケーブルも下記の様に結束バンドでタイマウントに固定します。 カメラケーブル Fig. B6 1.1 カメラユニット取付けおよび固定金具取外し方法

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(2)󲗍 カメラ Assy の側面を XY ステージ上の位置決めピンに、 カメラ Assy
底面の位置決めピンを XY ステージの側面に押し当てて固定します。
カメラ Assy の側面
XY ステージ上の
位置決めピンに押
し当てます。
カメラ Assy の底面
の位置決めピンを
XY ステージの側面
に押し当てます。
Fig. B3
(3)󲗍 位置あわせ後に、 M4L20󲗍
×
󲗍4 本を本締めします。
締付けトルク :󲗍3.00 3.66󲗍N·m󲗍(30.6 37.4󲗍kgf·cm)
ノート
󲗍締付け後にピンと押し当て面の間に隙間が無いか、 確認をしてく
ださい。
隙間が有る場合は、 上記 (2) からやり直してください。
M4L20
×
4 本を
本締め
Fig. B4
1.1 カメラユニット取付けおよび固定金具取外し方法
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(4)󲗍 配線を結束バンドで固定します。
配線の結束バンドとタイマウントを合わせ、 付属の結束バンドでタイマ
ウントに固定します。
タイマウント
結束する
Fig. B5
󲗍 カメラケーブルも下記の様に結束バンドでタイマウントに固定します。
カメラケーブル
Fig. B6
1.1 カメラユニット取付けおよび固定金具取外し方法
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1.1.3 固定金具の取外し手順
手順
(1)󲗍 Y 軸および X 軸の固定金具を外します。
X 軸固定金具
Y 軸固定金具
ネジ (M4)
ネジ (M3)
ネジ (M3)
Fig. B7
(2)󲗍 付属のクランプ板を固定金具の固定に使用していたネジ (M3) で固定
し、 クランプネジで締めます。
M3 キャップボルト締付けトルク
:󲗍0.52 0.64󲗍N·m󲗍(5.4 6.6󲗍kgf·cm)
X軸
Y軸
クランプネジ
クランプ
ネジ
クランプ板
ネジ (M3)
Fig. B8
1.1 カメラユニット取付けおよび固定金具取外し方法