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4OM-1839 1-4-37 1603-001 4.8 XY ビーム部 4.8.1 X 軸リニアガイドの点検周期：毎日（所要時間：1 分） X 軸リニアガイド Fig. 4A4-48 手順異物などが落ちていないか目視で点検し、異物などが落ちている場合は取除いてください。

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1603-001

4.8 XY ビーム部

Y軸ケーブル固定か所

6か月ごと　点検所要時間:1分

Y軸ケーブル側面

6か月ごと清掃、給油所要時間:3分

(バリエルタIEL/V)

Fig. 4A4-46

Y軸リニアスケール

6か月ごと　清掃所要時間:5分

Fig. 4A4-47

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4.8 XY ビーム部

4.8.1 X 軸リニアガイドの点検

周期：毎日（所要時間：1 分）

X 軸リニアガイド

Fig. 4A4-48

手順

異物などが落ちていないか目視で点検し、異物などが落ちている場合は取

除いてください。

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4.8 XY ビーム部

4.8.2 X 軸リニアガイドの清掃と給油

周期：3 か月ごと（所要時間：5 分）

グリース：ダフニーグリース MP No.1

X 軸リニアガイドスライダ

Fig. 4A4-49

手順

（1）ウエスで古いグリースを拭取る。

（2）ハンドグリースガンでグリースニップルから新しいグリースを給油

する。

ノート

給油は、初回 1 か月後、以降 3 か月ごとに行ってください。

注意

糸くずなどを残さないようにしてください。