4M-1839-002w_F8S.pdf - 第206页
4OM-1839 3-3-47 1603-001 異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法 426301 位置決めコンベア異常 位置決めコンベア動作中に異常が発生しました ----- 426302 位置決めコンベア異常 位置決め変更動作中に異常が発生しました コンベア上の基板を確認してください。 427101 排出コンベアセンサ検出 動作開始前に減速センサを検出しました 排出コンベアセンサを検出しました、不定基板がある場合は取除いて…
4OM-1839
3-3-461603-001
異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法
426111 位置決めコンベアセンサ検出
位置決めコンベア上で基板を検出しました
位置決めコンベア上の基板を取除いてください
426112 位置決めコンベアセンサ検出
位置決めコンベア上に基板がありません
基板が落下していないか確認してください。
基板がセンサに検出されているか確認してください。
426113 位置決めコンベアセンサ検出
排出基板と取込基板が干渉する可能性があります。
同時搬送中に基板追いつきが発生しました、排出動作が正常に行われていること
を確認してください。
426114 位置決めコンベアセンサ検出
上流位置に基板が到着していません。
①基板が引っかかっているか、コンベア上から落下した可能性があります。
コンベア上を確認してください。
②供給コンベア上に基板記憶情報があれば編集画面でクリアしてください。
または取除いた基板を戻してください。
426201 位置決めコンベアタイムアウト
上流位置への取り込みが所定時間内に完了しませんでした
①供給コンベアから上流位置の間に基板が挟まっているか、落下している可能性
があります。供給 ~ 位置決めコンベア上を確認してください。
②供給コンベア上に基板記憶情報があれば編集画面でクリアしてください。また
は取除いた基板を戻してください。
426202 位置決めコンベアタイムアウト
上流位置からの排出が所定時間内に完了しませんでした
①上流位置から排出した基板が挟まっているか、落下している可能性があります。
位置決め ~ 排出コンベア上を確認してください。
②上流位置に基板記憶情報があれば編集画面でクリアしてください。または取除
いた基板を戻してください。
426203 位置決めコンベアタイムアウト
下流位置への取り込みが所定時間内に完了しませんでした
①下流位置へ取り込む基板が挟まっているか、落下している可能性があります。
供給 ~ 位置決めコンベア上を確認してください。
②コンベア上の基板記憶状態と取込状態が一致していません。基板記憶情報があ
れば編集画面でクリアしてください。または取除いた基板を戻してください。
426204 位置決めコンベアタイムアウト
下流位置からの排出が所定時間内に完了しませんでした
①上流位置から排出した基板が挟まっているか、落下している可能性があります。
位置決め ~ 排出コンベア上を確認してください。
②下流位置に基板記憶情報があれば編集画面でクリアしてください。または取除
いた基板を戻してください。
426205 位置決めコンベアタイムアウト
位置決め変更動作が所定時間内に完了しませんでした
基板が引っかかっている可能性があります。
コンベア上の基板を確認してください。
3.3 コンベア
4OM-1839
3-3-471603-001
異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法
426301 位置決めコンベア異常
位置決めコンベア動作中に異常が発生しました
-----
426302 位置決めコンベア異常
位置決め変更動作中に異常が発生しました
コンベア上の基板を確認してください。
427101 排出コンベアセンサ検出
動作開始前に減速センサを検出しました
排出コンベアセンサを検出しました、不定基板がある場合は取除いてください。
基板が無い場合はセンサ誤検出の可能性があります、センサを清掃してください。
427102 排出コンベアセンサ検出
動作開始前に減速センサが検出されませんでした
排出する基板が見つかりません。
①センサ上に基板を置いてください。
②基板が落下している可能性があります、コンベア幅が合っているか確認して
ください。
427103 排出コンベアセンサ検出
動作開始前に停止センサを検出しました
排出コンベアセンサを検出しました、不定基板がある場合は取除いてください。
基板が無い場合はセンサ誤検出の可能性があります、センサを清掃してください。
427104 排出コンベアセンサ検出
動作開始前に停止センサが検出されませんでした
排出する基板が見つかりませんでした。
①基板がセンサに検出されているか確認してください。
②基板が落下している可能性があります、コンベア幅が合っているか確認して
ください。
427105 排出コンベアセンサ検出
動作完了後に減速センサ上で基板を検出しました
排出コンベアセンサを検出しました、不定基板がある場合は取除いてください。
基板が無い場合はセンサ誤検出の可能性があります、センサを清掃してください。
427106 排出コンベアセンサ検出
動作完了後に減速センサ上の基板が検出されませんでした
基板が正しく検出されているか確認してください。
センサが故障していないか確認してください。
427107 排出コンベアセンサ検出
動作完了後に停止センサ上で基板を検出しました
排出コンベアセンサを検出しました、不定基板がある場合は取除いてください。
基板が無い場合はセンサ誤検出の可能性があります、センサを清掃してください。
427108 排出コンベアセンサ検出
動作完了後に停止センサ上の基板が検出されませんでした
基板が正しく検出されているか確認してください。
センサが故障していないか確認してください。
427109 排出コンベアセンサ検出
排出コンベア上に基板が検出されました
コンベア上の基板を取除いてください。
3.3 コンベア
4OM-1839
3-3-481603-001
異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法
42710a 排出コンベアセンサ検出
排出コンベア上に基板が検出されませんでした
基板が正しく検出されているか確認してください。
センサが故障していないか確認してください。
42710b 排出コンベアセンサ検出
後工程排出動作中に停止センサを通過しませんでした
基板がセンサを通過する前に、コンベア動作が停止しています。
①排出方式・搬送速度・タイマ設定を確認してください
②接続ケーブルを確認してください
42710c 排出コンベアセンサ検出
排出コンベア基板外れ
排出コンベア上の基板が取除かれました。
故意に取除いたのでなければ基板の状態を確認してください。
42710d 排出コンベアセンサ検出
排出コンベアに基板が差し込まれました
差し込んだ基板を取除いてください
427201 排出コンベアタイムアウト
取込動作が所定時間内に完了しませんでした
①基板が引っかかっているか、コンベア上から落下した可能性があります。
コンベア上を確認してください。
②コンベア上の基板記憶状態と取込状態が一致していません。
基板記憶情報があれば編集画面でクリアしてください。または取除いた基板を戻
してください。
427202 排出コンベアタイムアウト
排出動作が所定時間内に完了しませんでした
①基板が引っかかっているか、コンベア上から落下した可能性があります。
後工程装置との乗り継ぎを確認してください。
②排出コンベア上に基板記憶情報があれば編集画面でクリアしてください。
または取除いた基板を戻してください。
427301 排出コンベア異常
排出コンベア動作中に異常が発生しました
-----
427401 中間コンベア異常
前工程装置からの取込動作でタイムアウトが発生しました
装置内に基板が取り込まれていません、中間コンベアを確認してください。
①非常停止が押されていないか
②安全カバーが開いていないか
③ブレーカーが落ちていないか
中間コンベア上に基板がある場合は、取除くか供給コンベア上へ置いてください。
427402 中間コンベア異常
後工程装置への排出動作でタイムアウトが発生しました
装置から基板が排出されていません、中間コンベアを確認してください。
①非常停止が押されていないか
②安全カバーが開いていないか
③ブレーカーが落ちていないか
3.3 コンベア