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4OM-1839 1603-001 4-A 4 章 認識異常 ID からのトラブルシューティング この章では、認識異常 ID からのトラブルシューティングについて説明 しています。 1. 認識異常 ID 記載例 2. 認識異常 ID 管理区分 3. 認識異常 ID と復帰方法
4OM-1839
3-3-1171603-001
3.14 システム
異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法
FE0101 オートコントロール異常
オートコントローラで動作継続できない異常が発生しました。
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FE0102 オートコントロール異常
干渉チェックにより停止しました。
再スタートしてください。
FE0201 XY コントロール異常
XY コントロールシーケンスで異常が発生しました。
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FE0202 XY コントロール異常
XY コントロールの干渉チェックにより異常が発生しました。
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FE0203 XY コントロール異常
XY コントロールでタイムアウトが発生しました。
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FE0301 制御システム異常
制御システムに異常が発生しました。再起動を実施します。
部品を吸着している場合、基板上や装置内に落下する可能性があります。
確認をお願いします。
FE0302 制御システム異常
制御システムの再起動に失敗しました。シャットダウンしてください。
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T4C20
3.14 システム
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1603-001 4-A
4 章
認識異常 ID からのトラブルシューティング
この章では、認識異常 ID からのトラブルシューティングについて説明
しています。
1. 認識異常 ID 記載例
2. 認識異常 ID 管理区分
3. 認識異常 ID と復帰方法
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