SOM-1682-002.pdf - 第37页

ࡁ࡯࠻ 8.1 “検査パラメータ” タブ *7 *7 *7 *7 *7 “ “ “ “ “ 検 検 検 検 検 査 査 査 査 査 時 時 時 時 時 テ テ テ テ テ ー ー ー ー ー ブ ブ ブ ブ ブ ル ル ル ル ル 降 降 降 降 降 下 下 下 下 下 指 指 指 指 指 定 定 定 定 定 [mm] [mm] [mm] [mm] [mm] ” ” ” ” ” 検査時のテーブル降下オフセット値を設定します。 設定したオ…

100%1 / 79
0412-002 34 AHK01JGP
8.1 “検査パラメータ”タブ
*3*3
*3*3
*3
1 枚の基板に対して、異常判定の最大値を設定します。
  異常回数がこの値に達した場合、それ以降の検査は行いません。
単位
データの設定範囲 0 ∼ 20
初期値 10
*4*4
*4*4
*4
  後工程への基板搬送の待ち時間を利用して、インターバル指定以
外の基板に対して検査を行うか行わないかを選択します。
使用する 待ち時間検査を行います。
使用しない: 待ち時間検査を行いません。
初期値 使用しない
後工程への基板搬送が可能になった時点で検査を中断
し、基板搬送を行います。
*5*5
*5*5
*5
  待ち時間検査実行時に、前回の検査視野の続きを検査するか検査
しないかを選択します。
使用する 巡回検査を行います。
使用しない: 巡回検査を行いません。
初期値 使用しない
  
使用するを選択した場合
   検査視野番号の1∼5までを検査した時点で中断した場合、検
査視野番号が 6 となります。
*6*6
*6*6
*6
  クリーニング後の最初の基板に対して、印刷状態検査を行うか行
わないかを選択します。
また、どのようなクリーニングの後に検査を行うかを選択します。
  使用しない クリーニング後の最初の基板に対して印
刷状態検査を行いません。
自動クリーニング後 自動クリーニング後の最初の基板に対し
て印刷状態検査を行います。
手清掃停止後 手清掃停止後の最初の基板に対して印刷
状態検査を行います。
自動クリーニング + 手清掃:
自動クリーニングおよび手清掃停止後の
最初の基板に対して印刷状態検査を行い
ます。
初期値 使用しない
ࡁ࡯࠻
ࡁ࡯࠻
8.1 “検査パラメータ”タブ
*7*7
*7*7
*7
[mm][mm]
[mm][mm]
[mm]
検査時のテーブル降下オフセット値を設定します。
設定したオフセット分、テーブルを降下させて検査を行います。
単位 mm
データの設定範囲 0.0 ∼ 2.5
初期値 0.0
基板をクランプしたときに、基板が上反ってしまい、
画像がぼやけ正常な検査ができない場合に指定します。
0412-001 34-1 AHK01JGP
8.2 “検査視野”タブ
㧖
㧖
㧖
㧖
㧖
㧖 㧖
0210-001 35 AHK01JGP
8.28.2
8.28.2
8.2
タブタブ
タブタブ
タブ
シートの表示シートの表示
シートの表示シートの表示
シートの表示
“印刷状態検査”タブシートで、[検査視野]タブを押すと、以下のタ
ブシートが表示されます。
Fig.27
シートの構成シートの構成
シートの構成シートの構成
シートの構成
*1*1
*1*1
*1
番号番号
番号番号
番号
検査視野の番号を表示します。
(最大 100 視野)