SOM-1682-002.pdf - 第37页
ࡁ࠻ 8.1 “検査パラメータ” タブ *7 *7 *7 *7 *7 “ “ “ “ “ 検 検 検 検 検 査 査 査 査 査 時 時 時 時 時 テ テ テ テ テ ー ー ー ー ー ブ ブ ブ ブ ブ ル ル ル ル ル 降 降 降 降 降 下 下 下 下 下 指 指 指 指 指 定 定 定 定 定 [mm] [mm] [mm] [mm] [mm] ” ” ” ” ” 検査時のテーブル降下オフセット値を設定します。 設定したオ…

0412-002 34 AHK01JGP
8.1 “検査パラメータ”タブ
*3*3
*3*3
*3
““
““
“
最最
最最
最
大大
大大
大
NN
NN
N
GG
GG
G
カカ
カカ
カ
ウウ
ウウ
ウ
ンン
ンン
ン
トト
トト
ト
数数
数数
数
””
””
”
1 枚の基板に対して、異常判定の最大値を設定します。
異常回数がこの値に達した場合、それ以降の検査は行いません。
単位: 回
データの設定範囲: 0 ∼ 20
• 初期値: 10
*4*4
*4*4
*4
““
““
“
待待
待待
待
ちち
ちち
ち
時時
時時
時
間間
間間
間
検検
検検
検
査査
査査
査
実実
実実
実
行行
行行
行
””
””
”
後工程への基板搬送の待ち時間を利用して、インターバル指定以
外の基板に対して検査を行うか行わないかを選択します。
使用する :待ち時間検査を行います。
使用しない: 待ち時間検査を行いません。
• 初期値: 使用しない
後工程への基板搬送が可能になった時点で検査を中断
し、基板搬送を行います。
*5*5
*5*5
*5
““
““
“
巡巡
巡巡
巡
回回
回回
回
検検
検検
検
査査
査査
査
実実
実実
実
行行
行行
行
””
””
”
待ち時間検査実行時に、前回の検査視野の続きを検査するか検査
しないかを選択します。
使用する :巡回検査を行います。
使用しない: 巡回検査を行いません。
• 初期値: 使用しない
例例
例例
例
::
::
:使用するを選択した場合
検査視野番号の1∼5までを検査した時点で中断した場合、検
査視野番号が 6 となります。
*6*6
*6*6
*6
““
““
“
イイ
イイ
イ
ベベ
ベベ
ベ
ンン
ンン
ン
トト
トト
ト
指指
指指
指
定定
定定
定
””
””
”
クリーニング後の最初の基板に対して、印刷状態検査を行うか行
わないかを選択します。
また、どのようなクリーニングの後に検査を行うかを選択します。
使用しない :クリーニング後の最初の基板に対して印
刷状態検査を行いません。
自動クリーニング後: 自動クリーニング後の最初の基板に対し
て印刷状態検査を行います。
手清掃停止後 :手清掃停止後の最初の基板に対して印刷
状態検査を行います。
自動クリーニング + 手清掃:
自動クリーニングおよび手清掃停止後の
最初の基板に対して印刷状態検査を行い
ます。
• 初期値: 使用しない
ࡁ࠻

ࡁ࠻
8.1 “検査パラメータ”タブ
*7*7
*7*7
*7
““
““
“
検検
検検
検
査査
査査
査
時時
時時
時
テテ
テテ
テ
ーー
ーー
ー
ブブ
ブブ
ブ
ルル
ルル
ル
降降
降降
降
下下
下下
下
指指
指指
指
定定
定定
定
[mm][mm]
[mm][mm]
[mm]
””
””
”
検査時のテーブル降下オフセット値を設定します。
設定したオフセット分、テーブルを降下させて検査を行います。
単位: mm
データの設定範囲: 0.0 ∼ 2.5
• 初期値: 0.0
基板をクランプしたときに、基板が上反ってしまい、
画像がぼやけ正常な検査ができない場合に指定します。
0412-001 34-1 AHK01JGP

8.2 “検査視野”タブ
㧖
㧖
㧖
㧖
㧖
㧖 㧖
0210-001 35 AHK01JGP
8.28.2
8.28.2
8.2
““
““
“
検検
検検
検
査査
査査
査
視視
視視
視
野野
野野
野
””
””
”
タブタブ
タブタブ
タブ
•
シートの表示シートの表示
シートの表示シートの表示
シートの表示
“印刷状態検査”タブシートで、[検査視野]タブを押すと、以下のタ
ブシートが表示されます。
Fig.27
•
シートの構成シートの構成
シートの構成シートの構成
シートの構成
*1*1
*1*1
*1
番号番号
番号番号
番号
検査視野の番号を表示します。
(最大 100 視野)