SOM-1682-002.pdf - 第41页
8.2 “検査視野” タブ 0412-002 38 AHK01JGP かけ かけ かけ かけ かけ やせ / かけ判定を行う場合のしきい値を指定します。 スクリーン開口部の面積に対する割合です。 単位 ： % データの設定範囲 ： 50 ∼ 200 • 初期値 ： 70 例 例 例 例 例 ： ： ： ： ： やせ やせ やせ やせ やせ / / / / / かけ検出 かけ検出 かけ検出 かけ検出 かけ検出 Fig.31 (a) 0 を…
8.2 “検査視野”タブ
0412-002 37 AHK01JGP
**
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33
33
3
““
““
“
ママ
ママ
マ
ーー
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ー
クク
クク
ク
照照
照照
照
明明
明明
明
””
””
”
ゲイン、ゲイン、
ゲイン、ゲイン、
ゲイン、
レベルレベル
レベルレベル
レベル
基板認識用の拡散照明で画像を取り込む際のゲインとレベルを設
定します。
データの設定範囲
ゲイン： 1 ∼ 255 レベル： 1 ∼ 255
• 初期値
ゲイン： 150 レベル： 150
*4*4
*4*4
*4
““
““
“
半半
半半
半
田田
田田
田
照照
照照
照
明明
明明
明
””
””
”
ゲイン、ゲイン、
ゲイン、ゲイン、
ゲイン、
レベルレベル
レベルレベル
レベル
リング照明で画像を取り込む際のゲインとレベルを設定します。
データの設定範囲
ゲイン： 1 ∼ 255 レベル： 1 ∼ 255
• 初期値
ゲイン： 100 レベル： 50
*5*5
*5*5
*5
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““
“
判判
判判
判
定定
定定
定
しし
しし
し
きき
きき
き
いい
いい
い
値値
値値
値
””
””
”
にじみにじみ
にじみにじみ
にじみ
にじみ判定を行う場合のしきい値を指定します。
スクリーン開口部の面積に対する割合です。
単位： %
データの設定範囲： 50 ∼ 200
• 初期値： 180
例例
例例
例
：：
：：
：
にじみ検出にじみ検出
にじみ検出にじみ検出
にじみ検出
Fig.30
(a) 0 を設定すると異常判定は行いません。
(b) 判定しきい値は、警告しきい値よりも大きな値を
設定してください。
例例
例例
例
：：
：：
：にじみ判定しきい値 → 140 %
にじみ警告しきい値 → 130 %
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8.2 “検査視野”タブ
0412-002 38 AHK01JGP
かけかけ
かけかけ
かけ
やせ / かけ判定を行う場合のしきい値を指定します。
スクリーン開口部の面積に対する割合です。
単位： %
データの設定範囲： 50 ∼ 200
• 初期値： 70
例例
例例
例
：：
：：
：
やせやせ
やせやせ
やせ
/ /
/ /
/
かけ検出かけ検出
かけ検出かけ検出
かけ検出
Fig.31
(a) 0 を設定すると異常判定は行いません。
(b) 判定しきい値は、警告しきい値よりも小さな値を
設定してください。
例例
例例
例
：：
：：
：やせ / かけ判定しきい値 → 70 %
やせ / かけ警告しきい値 → 80 %
ブブ
ブブ
ブ
リッジリッジ
リッジリッジ
リッジ
ブリッジ判定を行う場合のしきい値を指定します。
ブリッジの最小幅です。
単位： µm
データの設定範囲： 25 ∼ 200
• 初期値： 25
例例
例例
例
：：
：：
：
ブリッジ検出ブリッジ検出
ブリッジ検出ブリッジ検出
ブリッジ検出
Fig.32
0 を設定すると異常判定は行いません。
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8.2 “検査視野”タブ
0412-002 39 AHK01JGP
*6*6
*6*6
*6
““
““
“
警警
警警
警
告告
告告
告
しし
しし
し
きき
きき
き
いい
いい
い
値値
値値
値
””
””
”
にじみにじみ
にじみにじみ
にじみ
にじみ警告を行う場合のしきい値を指定します。
スクリーン開口部の面積に対する割合です。
単位： %
データの設定範囲： 50 ∼ 200
• 初期値： 170
(a) 0 を設定すると異常判定は行いません。
(b) 警告しきい値は、判定しきい値よりも小さな値を
設定してください。
例例
例例
例
：：
：：
：にじみ判定しきい値 → 140 %
にじみ警告しきい値 → 130 %
かけかけ
かけかけ
かけ
やせ / かけ警告を行う場合のしきい値を指定します。
スクリーン開口部の面積に対する割合です。
単位： %
データの設定範囲： 50 ∼ 200
• 初期値： 80
(a) 0 を設定すると異常判定は行いません。
(b) 警告しきい値は、判定しきい値よりも大きな値を
設定してください。
例例
例例
例
：：
：：
：やせ / かけ判定しきい値 → 70 %
やせ / かけ警告しきい値 → 80 %
*7*7
*7*7
*7
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CC
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ココ
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トト
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ロロ
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ルル
ルル
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））
））
）
検査を行うか行わないかを、視野毎に設定します。
−：検査を行います。
S ：検査をスキップします。
• 初期値： -
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