DECAN_S1_Admin(Chi_Ver1.1).pdf - 第386页
14-26 Next Generation, Multi-Function al Placer DECAN S1 Administrator’s G uide 3. 显示 “ Ca libration is Prepared. T o Calibrate, Click [N ext].” 消息。 此时， 点 击 <Light> 后在 “Light Control” 对话框中使 ‘SMV ision’ 窗口显示的 Fiduci…
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Machine Calibration
1. 请点击<标准菜单>领域的 <2. Ref. Fid. Camera Scale> 按钮 。
2. 点击<2. Ref. Fid. Camera Scale>按钮则在消息窗显示 “Fid-Cam will Move to
the specific Fiducial Mark’s position on ANC. Click [Next] to Move.”消息。然
后，为了将基准摄像机移动到ANC的Fiducial Mark位置， 请点击<Next>按
钮。
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Next Generation, Multi-Functional Placer DECAN S1 Administrator’s Guide
3. 显示“Calibration is Prepared. To Calibrate, Click [Next].”消息。此时，点击
<Light> 后在 “Light Control”对话框中使‘SMVision’窗口显示的Fiducial
Mark明显调整照明的亮度后请点击<Next> 按钮。
4. Calibration完毕后如下图所示地显示结果值。要适用新的校正值请点击
<Update>按钮。
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Machine Calibration
5. 每个悬臂使用2个基准相机时，点击 <3. Other Fid. Camera Scale>键后按照同
一方法实行校准(Calibration)。
备 注 (Ref. / Other)基准相机(FOV7.5)的校正基准值如下
ScaleX: 13.0 ~ 17.0 (μm/pixel)
ScaleY: 13.0 ~ 17.0 (μm/pixel)
ScaleR: -0.5 ~ 0.5 (deg)