DECAN_S1_Admin(Chi_Ver1.1).pdf - 第431页
14-71 Machine Calibration 备 注 Fly Camera Off s et 的校正基准值如下。 (FOV 23m m (2MEGA)) Head - Fly Offset [ 单位 : X(mm) , Y (mm) , R (°) ] Of fse t X: -0.60 ~ 0.60 Of fse t Y : -0.60 ~ 0.60 Of fse t R: -1.0 ~ 1 .0 Head Refere…
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Next Generation, Multi-Functional Placer DECAN S1 Administrator’s Guide
4. 正常结束对所有磁头的校正，则显示如下结果值。如下图显示结果值。点击
<Update>按钮。
结果值在System Setup菜单的Camera对话框中可以确认。
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Machine Calibration
备 注 Fly Camera Offset的校正基准值如下。(FOV 23mm(2MEGA))
Head - Fly Offset [单位: X(mm) , Y (mm) , R (°) ]
Offset X: -0.60 ~ 0.60
Offset Y: -0.60 ~ 0.60
Offset R: -1.0 ~ 1.0
Head Reference Fiducial Offset (mm)
Offset X: -0.50 ~ 0.50
Offset Y: -0.50 ~ 0.50
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14.3.8.9. Fly to Fix Camera & Fly Runout Offset Calibration
为了补偿在飞行相机部件识别后贴装时因部件识别高度和贴装高度不同而发生的偏
移。
此时发生的Offset的原因为轴的弯曲、 Run-Out等。与贴装高度相同的基准相机的识
别高度和飞行相机的识别高度值，根据角度进行补正。
执行Calibration之前，需先确认ANC 1号孔中是否已安装CNT20喷嘴。
下面是 Fly to Fix Offset 的校正步骤。
1. 未安装CNT20喷嘴时，点击<Nozzle Prepare>按钮后，请在ANC 1号孔中手动插
入CNT20喷嘴。
2. 选择<Automatic Next(自动下一步)> 校验框后，点击<15. Fly to Fix Offset> 按
钮，则对选择的Gantry自动执行校正。
3. 校正首先旋转45度校正 Tool的同时用飞行相机识别校正 Tool底面的Fiducial
Mark 2点。之后把校正 Tool位于ANC顶面的校正 Tool位置后，用基准相机识别
校正 Tool上面的Fiducial Mark 2点。
之后，重新Pick旋转90度放置于此位置后，用基准相机识别校正 Tool上面的
Fiducial Mark 2点。用此方法对一个Head以90度为单位进行旋转测量0度、90
度、180度、270度的四个方向。