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9 . 소 모품 의 교 환방법 4 - 27 9. 1 기판 반 송 부 의 청소 와 벨 트 의 교환 4- 27 9.2 UPS( 무 정전 전원장 치 ) 배 터리의 교환 4- 29 제 5 장 급 유 개소 일람 1 . 적용 구리스와 구리스 건 5- 1 1 . 1 적용 구 리스 5- 1 1 .2 구리스건 5- 1 2. 각부의 급유 5- 2 2. 1 X 축 , CZ 축 가 이드와 볼스 크 류 5-2 2.…
제 4 장 유지보수
작업하기 전에 4-1
1. 검사기의 성능을 유지하기 위해서는 4-2
1.1 필수조건 및 환경조건 4-2
1.2 정기적인 점검
•
청소의 중요성 4-3
1.3 적절한 습도 관리의 중요성 4-3
2. 유지보수 항목일람 4-4
3. 유지보수 작업의 준비 4-6
3.1 소모품 4-6
3.2 유지보수 툴 4-7
3.2.1 클리닝 툴 4-7
3.2.2 급유 툴
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구리스 4-8
3.3 필요공구 4-9
4. 매주 4-10
4.1 기판센서의 상태확인 4-10
4.2 기판클램프의 상태
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동작확인 4-10
5. 매월 4-11
5.1 각 축의 점검 4-11
5.2 볼 스크류와 가이드의 청소
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급유 4-12
5.2.1 X 축 볼 스크류의 청소
•
급유 4-12
5.2.2 X 축 가이드의 청소
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급유 4-13
5.2.3 Y 축 볼스크류의 청소
•
급유 4-14
5.2.4 Y 축 가이드의 청소
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급유 4-16
5.3 카메라 조명의 청소 4-17
6. 3 개월 4-18
6.1 환기 팬의 필터 4-18
6.2 CZ 축 ( 옵션 ) 볼스크류의 청소
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급유 4-19
7. 6 개월 4-20
7.1 마킹유닛 ( 옵션 ) 캠 부위의 청소
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급유 4-20
7.2 컨트롤러의 필터 청소 (TypeHS2 만 ) 4-21
8. 1 년 4-22
8.1 W 축부 4-22
8.1.1 W 축 볼스크류의 청소
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급유 4-22
8.1.2 W 축 가이드의 청소
•
급유 4-23
8.1.3 6 각 스플라인의 청소
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급유 4-24
8.2 에어 / 미스트 필터의 점검
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청소 4-25
9. 소모품의 교환방법 4-27
9.1 기판 반송부의 청소와 벨트의 교환 4-27
9.2 UPS( 무정전 전원장치 ) 배터리의 교환 4-29
제 5 장 급유개소 일람
1. 적용 구리스와 구리스 건 5-1
1.1 적용 구리스 5-1
1.2 구리스건 5-1
2. 각부의 급유 5-2
2.1 X 축 , CZ 축 가이드와 볼스크류 5-2
2.2 Y 축 가이드와 볼스크류 5-3
2.3 W 축 가이드 , 볼스크류와 6 각 스플라인 5-4
부록
1. 전원 접속부 A-1
2. 기기간 입출력 커넥터 A-2
3. UPS( 무정전 전원장치 ) A-3
3.1 안전상의 주의 A-3
3.1.1 UPS 의 수송 및 수출에 관해서 A-3
3.1.2 교환후의 배터리 폐기에 대해서 A-3
3.1.3 그 밖의 취급상의 주의 A-3
3.2 UPS 에 관해서 A-5
3.3 조작 및 설정 A-6
3.3.1 프런트 패널 A-6
3.3.2 통상시 ( 전원 정상시 ) 의 조작 A-6
3.3.3 정전 발생시의 조작 A-6
3.4 유지보수에 대해서 A-7
3.4.1 배터리 교환시기 A-7
3.4.2 배터리의 교환에 대해서 A-7
3.4.3 교환용 배터리의 보관에 대해서 A-7
3.5 트러블 슈팅 A-8
색인
