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3-6 3 8 푸쉬업 핀을 배치합니다 . 1 . 버 튼 에 리 어 의 [ 장치 ] 버튼 을 누 르고 , [ 푸쉬업 ] 버 튼 을 눌러서 푸쉬 업 플레 이 트 를 내 립 니 다 . [푸쉬업] 버튼 [푸쉬업] 버튼 [장치] 버튼 2830 3-M 9- 0 0 2. 기 판의 사 이 즈나 탑 재 부품 위 치 를 고려 해 서 푸쉬업 핀 을 배 치해 주십 시 오 . 푸쉬업 핀의 배치 푸쉬업 핀 2730 …

3-5
3
█ 푸쉬업 핀의 높이조정 순서
e
1
비상정지 버튼을 누른 다음 , 안전커버를 오픈합니다 .
2
푸쉬업 핀을 제거합니다 .
검사할 기판의 셋업을 실행하기 위해 , 푸쉬업 핀을 제거해 주십시오 .
3
푸쉬업 핀의 높이를 맞춥니다 .
검사할 기판의 두께에 맞춰서 서포트 핀 부분을 돌려서 높이를 맞춥니다 .
싱글레인과 듀얼레인은 높이가 서로 다릅니다 .
•
싱글 레인용 서포트 핀 높이 :140mm- 기판두께
•
듀얼 레인용 서포트 핀 높이 :76mm- 기판두께
푸쉬업 핀
높이조정
76 mm
140 mm
서포트 핀
기판
좌석 스탠드
서포트 핀
■ 싱글 레인용
■ 듀얼 레인용
기판
좌석 스탠드
27302-M9-00
4
비상정지를 해제합니다 .
안전커버를 닫고 , 비상정지 상태를 해제한 후에「READY」버튼을 누릅니다 .
5
기판을 선택합니다 .
검사할 기판을 선택해 주십시오 .
6
검사위치에 기판을 반입합니다 .
[ 기판교환 ] 버튼을 누른 다음 , 기판을 컨베이어의 입구에 세팅해서 반입합니다 .
[기판교환]버튼
[기판교환] 버튼
28302-M9-00
e
7
안전커버를 오픈합니다 .
기판고정을 확인한 후 , 비상정지 버튼을 누르고 안전커버를 열어 주십시오 .

3-6
3
8
푸쉬업 핀을 배치합니다 .
1. 버튼 에리어의 [ 장치 ] 버튼을 누르고 , [ 푸쉬업 ] 버튼을 눌러서 푸쉬업 플레이트를 내립니다 .
[푸쉬업] 버튼
[푸쉬업] 버튼
[장치] 버튼
28303-M9-00
2. 기판의 사이즈나 탑재부품 위치를 고려해서 푸쉬업 핀을 배치해 주십시오 .
푸쉬업 핀의 배치
푸쉬업 핀
27303-M9-00
c
주의
푸쉬업 핀은 , 푸쉬업 플레이트가 상승했을 때에 , 푸쉬업 핀이 컨베이어 레일이나 다른 부품과 간섭하지 않는 위치에 세팅해 주십시오 .
c
주의
기판 이면의 부품 높이가 30mm 를 초과할 경우에는 , 푸쉬업 핀을 사용하지 말아 주십시오 . 푸쉬업 핀이 부품과 간섭할 우려가 있습니다 .
9
기판의 고정상태를 확인합니다 .
1. [ 푸쉬업 ] 버튼을 눌러서 푸쉬업 플레이트를 올립니다 .
2. 기판을 손으로 만져봐서 휘어짐이나 반동이 없는지 확인해 주십시오 .
n
요점
푸쉬업 핀의 선단이 기판의 이면에 닿지 않거나, 기판을 너무 들어 올리고 있을 경우는, 푸쉬업 핀의 높이를 조정해 주십시
오.
0
기판을 반출합니다 .
1. 안전커버를 닫고 비상정지를 해제합니다 .
2. [ 기판교환 ] 버튼을 누르고 , 기판을 반출합니다 .

제 4 장 유지보수
목차
작업하기 전에 4-1
1. 검사기의 성능을 유지하기 위해서는 4-2
1.1 필수조건 및 환경조건 4-2
1.2 정기적인 점검
•
청소의 중요성 4-3
1.3 적절한 습도 관리의 중요성 4-3
2. 유지보수 항목일람 4-4
3. 유지보수 작업의 준비 4-6
3.1 소모품 4-6
3.2 유지보수 툴 4-7
3.2.1 클리닝 툴 4-7
3.2.2 급유 툴
•
구리스 4-8
3.3 필요공구 4-9
4. 매주 4-10
4.1 기판센서의 상태확인 4-10
4.2 기판클램프의 상태
•
동작확인 4-10
5. 매월 4-11
5.1 각 축의 점검 4-11
5.2 볼 스크류와 가이드의 청소
•
급유 4-12
5.2.1 X 축 볼 스크류의 청소
•
급유 4-12
5.2.2 X 축 가이드의 청소
•
급유 4-13
5.2.3 Y 축 볼스크류의 청소
•
급유 4-14
5.2.4 Y 축 가이드의 청소
•
급유 4-16
5.3 카메라 조명의 청소 4-17
6. 3 개월 4-18
6.1 환기 팬의 필터 4-18
6.2 CZ 축 ( 옵션 ) 볼스크류의 청소
•
급유 4-19
7. 6 개월 4-20
7.1 마킹유닛 ( 옵션 ) 캠 부위의 청소
•
급유 4-20
7.2 컨트롤러의 필터 청소 (TypeHS2 만 ) 4-21