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4-27 4 9. 소 모 품 의 교 환방법 9 . 1 기판 반 송 부의 청소 와 벨 트의 교 환 █ 준비물 • 육각 렌 치 3 mm, 4 mm, 5mm • 닦기 용 와 이퍼 • 얇은 브러시 • 새로운 벨트 • 사 각건 e 1 비상 정지 버튼 을 누 릅 니다 . 작 업 을 안전 하게 하기 위 해 , 반드시 장 비 를 비 상 정 지 상 태 로 해 주십시 오 . 2 검사기의 정면 안 전 커버를 오…
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4
4
필터 컵 안의 더러움을 청소합니다 .
1. 컵 안을 가볍게 물로 씻어냅니다 .
2. 물을 탄 중성세제로 재차 컵안을 씻습니다 .
3. 에어 블로우 툴로 블로우 한 후 , 와이퍼 등으
로 수분을 닦아 주십시오 .
5
필터 엘레멘트를 분리합니다 .
에어 필터
배플을 우측 그림과 같은 방향으로 돌려서
엘레멘트 어셈블리로부터 분리합니다 .
미스트 필터
필터 엘레멘트를 우측 그림과 같은 방향으로
돌려서 분리합니다 .
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6
필터 엘레멘트의 상태를 확인합니다 .
더러움이나 막힘 등이 없는지 확인해 주십시오 .
더러움이 심할 경우는 , 소모품 리스트에 있는 필
터 엘레멘트로 교환해 주십시오 .
7
필터 엘레멘트와 컵을 장착합니다 .
탈착했을 때와 반대순으로 , 필터 엘레멘트와 필터
컵을 장착해 주십시오 .
8
에어 커플러를 장착합니다 .
에어 커플러를 접속하고 , 에어 누출이 없는지
확인해 주십시오 .
필터 엘레멘트의 분리
Step 5
오일 미스트 필터
에어 필터
배플(baffle)
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4
9. 소모품의 교환방법
9.1 기판 반송부의 청소와 벨트의 교환
█
준비물
•
육각렌치 3mm, 4mm, 5mm
•
닦기용 와이퍼
•
얇은 브러시
•
새로운 벨트
•
사각건
e
1
비상정지 버튼을 누릅니다 .
작업을 안전하게 하기 위해 , 반드시 장비를 비상
정지 상태로 해 주십시오 .
2
검사기의 정면 안전커버를 오픈합니다 .
3
벨트를 느슨하게 합니다 .
1. 사각건을 가이드와 볼스크류의 위에 깔아둡니
다.
2. 우측 그림과 같이 육각렌치 (4, 5) 로 텐션 풀
리를 풀어서 , 긴 구멍 끝까지 ( 푸는 방향 ) 이
동시켜 주십시오 .
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4
벨트를 분리합니다 .
1. 육각렌치 (3) 로 벨트 구동용 풀리의 볼트를
풀고 , 샤프트를 풀리로부터 당겨서 틈새를
만듭니다 .
2. 벨트를 풀리로부터 분리해서 샤프트와의 틈새
로부터 빼내어 주십시오 .
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5
기판 클램프 보드를 탈착합니다 .
육각렌치 (3) 로 기판 클램프 보드의 고정볼트 (4
군데 ) 를 풀어서 기판 클램프 보드를 탈착해 주십
시오 .
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벨트의 텐션 풀기
Step 3
텐션 풀리
육각렌치(4)
육각렌치(5)
샤프트의 분리
Step 4
샤프트 구동용 풀리
이 틈새로 벨트를 뺀다
기판 클램프 보드의 탈착
Step 5
기판 클램프 보드 고정볼트
기판 클램프 보드
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6
컨베이어에서 벨트를 분리합니다 .
7
반송부를 청소합니다 .
컨베이어 프레임과 기판가이드의 틈새를 얇은 브
러시 , 또는 닦기용 와이퍼로 청소하여 주십시오 .
8
새로운 벨트를 장착합니다 .
1. 새 벨트를 풀리에 걸면서 벨트를 임시 장착하
여 주십시오 .
2. 샤프트를 풀리에 접속시켜 볼트를 끼워 주십시
오.
3. 벨트 텐셔너를 이동시켜서 텐션을 가하면서 볼
트를 조여 주십시오 .
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참고
벨트 텐션의 적정값은 다음과 같습니다.
• 텐션 값 :150~180Hz
• 스팬길이 :138mm
c
주의
벨트 텐셔너 ( 풀리 ) 의 체결 토르크는 , 반드시 5.5N
•
m 으로 설
정해 주십시오 .
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기판클램프 보드를 부착합니다 .
1. 기판클램프 보드를 원위치에 부착하고 고정볼
트로 임시 고정합니다 .
2. [ 장치 ]-「컨베이어」화면의 [ 기판클램프 ]
버튼을 눌러서 클램프시킨 상태에서 임시고정
한 볼트를 확실하게 조여 주십시오 .
c
주의
조정 작업은 에어를 공급하고 기판 클램프를 올린 상태에서 실행
하여 주십시오 .
0
벨트의 장착상태를 확인합니다 .
1. [ 장치 ]-「컨베이어」화면의 [ 기판클램프 ]
버튼을 재차 눌러서 언클램프 시킵니다 . 이
때 , 기판클램프 선단의 위치가 벨트 윗면보다
약 0.5mm 낮은 위치에 있는지 확인하여 주십
시오 .
2. [ 장치」-「컨베이어」화면의 [ 컨베이어 구동 ]
버튼으로 벨트를 회전시켜 동작상태를 확인하
여 주십시오 .
3. 컨베이어 벨트의 회전이 고르지 못하거나 벨트
의 처짐이 클 경우는 , 텐셔너 볼트의 위치를
조정하고 , 다시 회전시켜 확인하면서 조정하
여 주십시오 .
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벨트의 장착
Step 8
텐션 측정 장소
138 mm
스팬 길이
벨트의 장착상태 확인
Step 10
기판 클램프 보드
0.5 mm
기판 클램프
벨트 상면