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4-29 4 9. 2 UPS ( 무정전 전원 장치 ) 배터리의 교 환 본 체 에 부 속 되 어 있 는 UP S 배 터 리 에 는 수 명 이 있 습 니 다 . 교 환 시 기 는 사용 환 경 ( 실 내 온 도 등 ) 에 따 라 서 다 소 변 화 가 있 으므 로 , 정 기 적 으로 교 환 할 필 요가 있 습 니 다 . UPS 배 터 리 의 상 세 한 내 용 및 교 환 방 법 에 관 해 서 는 UP…

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컨베이어에트를 분리합니다 .
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소합니다 .
컨베이어 프레판가이드의 틈새얇은
러시 , 또는 와이퍼주십시 .
8
새로트를 합니다 .
1. 벨트풀리면서 장착하
주십시 .
2. 샤프트풀리시켜 볼트주십시
오.
3. 텐셔시켜텐션가하면서
조여 주십시 .
5743 0 -M9-00
참고
트 텐의 적은 다음과 같.
:150~180Hz
:138mm
c
주의
벨트 텐셔너 ( 풀리 ) 의 체결 토크는 , 반드시 5.5N
m 로 설
정해 주십시 .
9
기판클램드를 합니 .
1. 기판클램프 보드를 치에 부착하고 고정
트로 임시 고정합니 .
2. [ 장치 ]-이어」화면의 [ 기판클램프 ]
튼을 눌러서 클램프시상태에서 임시
조여 주십시 .
c
주의
조정 작업은 에어를 공급하고 기판 클램프를 올린 상태에서 실행
하여 주십시오 .
0
트의 장착상태인합니다 .
1. [ 장치 ]-이어」화면의 [ 기판클램프 ]
튼을 눌러서 클램 .
, 클램단의 치가 벨트 윗면보다
0.5mm 낮은 치에 있는확인주십
시오 .
2. [ 장치」-이어화면의 [ 컨베이어 구동 ]
으로 회전시켜 동작상태
주십시 .
3. 이어 벨트의 회전르지 하거
우는 , 텐셔트의
조정 , 다시 회전하면서 조정
주십시 .
57431-M9- 0 0
벨트의 장착
Step 8
텐션 측정 장소
138 mm
스팬 길이
벨트의 장착상태 확인
Step 10
기판 클램프 보드
0.5 mm
기판 클램프
벨트 상면
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9.2 UPS( 무정전 전원장치 ) 배터리의
UPS . 사용( )
으므 , 으로 요가 .
UPS UPS 동봉주십 .
n
요점
UPS 를 교을 때 , UPS 체 및 메치 좌측에 부어 있는 씰의 기란에 교한 날짜를 기해 주십 .
5 개소 일
목차
1. 적용 구리스와 구리스 5-1
1.1 적용 리스 5-1
1.2 구리스건 5-1
2. 각부의 5-2
2.1 X , CZ 이드크류 5-2
2.2 Y 이드크류 5-3
2.3 W 이드 , 볼스류와 6 플라 5-4