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4-28 4 6 컨베이어에 서 벨 트를 분리합 니다 . 7 반 송 부 를 청 소합니다 . 컨베 이어 프레 임 과 기 판가이 드의 틈새 를 얇은 브 러시 , 또는 닦 기 용 와이퍼 로 청 소 하 여 주십시 오 . 8 새로 운 벨 트를 장 착 합니다 . 1 . 새 벨트 를 풀리 에 걸 면서 벨 트 를 임 시 장착하 여 주십시 오 . 2. 샤프트 를 풀리 에 접 속 시켜 볼트 를 끼 워 주십시 오…

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9. 소모품의 교환방법
9.1 기판 반송부의 청소와 벨트의 교환
█
준비물
•
육각렌치 3mm, 4mm, 5mm
•
닦기용 와이퍼
•
얇은 브러시
•
새로운 벨트
•
사각건
e
1
비상정지 버튼을 누릅니다 .
작업을 안전하게 하기 위해 , 반드시 장비를 비상
정지 상태로 해 주십시오 .
2
검사기의 정면 안전커버를 오픈합니다 .
3
벨트를 느슨하게 합니다 .
1. 사각건을 가이드와 볼스크류의 위에 깔아둡니
다.
2. 우측 그림과 같이 육각렌치 (4, 5) 로 텐션 풀
리를 풀어서 , 긴 구멍 끝까지 ( 푸는 방향 ) 이
동시켜 주십시오 .
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4
벨트를 분리합니다 .
1. 육각렌치 (3) 로 벨트 구동용 풀리의 볼트를
풀고 , 샤프트를 풀리로부터 당겨서 틈새를
만듭니다 .
2. 벨트를 풀리로부터 분리해서 샤프트와의 틈새
로부터 빼내어 주십시오 .
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5
기판 클램프 보드를 탈착합니다 .
육각렌치 (3) 로 기판 클램프 보드의 고정볼트 (4
군데 ) 를 풀어서 기판 클램프 보드를 탈착해 주십
시오 .
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벨트의 텐션 풀기
Step 3
텐션 풀리
육각렌치(4)
육각렌치(5)
샤프트의 분리
Step 4
샤프트 구동용 풀리
이 틈새로 벨트를 뺀다
기판 클램프 보드의 탈착
Step 5
기판 클램프 보드 고정볼트
기판 클램프 보드

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6
컨베이어에서 벨트를 분리합니다 .
7
반송부를 청소합니다 .
컨베이어 프레임과 기판가이드의 틈새를 얇은 브
러시 , 또는 닦기용 와이퍼로 청소하여 주십시오 .
8
새로운 벨트를 장착합니다 .
1. 새 벨트를 풀리에 걸면서 벨트를 임시 장착하
여 주십시오 .
2. 샤프트를 풀리에 접속시켜 볼트를 끼워 주십시
오.
3. 벨트 텐셔너를 이동시켜서 텐션을 가하면서 볼
트를 조여 주십시오 .
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참고
벨트 텐션의 적정값은 다음과 같습니다.
• 텐션 값 :150~180Hz
• 스팬길이 :138mm
c
주의
벨트 텐셔너 ( 풀리 ) 의 체결 토르크는 , 반드시 5.5N
•
m 으로 설
정해 주십시오 .
9
기판클램프 보드를 부착합니다 .
1. 기판클램프 보드를 원위치에 부착하고 고정볼
트로 임시 고정합니다 .
2. [ 장치 ]-「컨베이어」화면의 [ 기판클램프 ]
버튼을 눌러서 클램프시킨 상태에서 임시고정
한 볼트를 확실하게 조여 주십시오 .
c
주의
조정 작업은 에어를 공급하고 기판 클램프를 올린 상태에서 실행
하여 주십시오 .
0
벨트의 장착상태를 확인합니다 .
1. [ 장치 ]-「컨베이어」화면의 [ 기판클램프 ]
버튼을 재차 눌러서 언클램프 시킵니다 . 이
때 , 기판클램프 선단의 위치가 벨트 윗면보다
약 0.5mm 낮은 위치에 있는지 확인하여 주십
시오 .
2. [ 장치」-「컨베이어」화면의 [ 컨베이어 구동 ]
버튼으로 벨트를 회전시켜 동작상태를 확인하
여 주십시오 .
3. 컨베이어 벨트의 회전이 고르지 못하거나 벨트
의 처짐이 클 경우는 , 텐셔너 볼트의 위치를
조정하고 , 다시 회전시켜 확인하면서 조정하
여 주십시오 .
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벨트의 장착
Step 8
텐션 측정 장소
138 mm
스팬 길이
벨트의 장착상태 확인
Step 10
기판 클램프 보드
0.5 mm
기판 클램프
벨트 상면

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9.2 UPS( 무정전 전원장치 ) 배터리의 교환
본체에 부속되어 있는 UPS 배터리에는 수명이 있습니다. 교환시기는 사용환경( 실내온도 등 ) 에 따라서
다소 변화가 있으므로 , 정기적으로 교환할 필요가 있습니다.
UPS 배터리의 상세한 내용 및 교환방법에 관해서는 UPS 에 동봉되어 있는 취급설명서를 읽어 주십시오 .
n
요점
UPS 배터리를 교환했을 때에는 , UPS 본체 및 메인스위치 좌측에 부착되어 있는 씰의 기입란에 교환한 날짜를 기입해 주십시오 .