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본 취 급 설 명 서 는 본 장 치 를 사 용 하 시 는 고 객 을 대 상 으 로 쓰 여 져 있 습 니 다 . 반 드 시 본 취 급 설 명 서 를 잘 읽 으 신 후 , 안 전 에 주 의 하 여 올바르게 사 용해 주십시오 . 읽으 신 후 에는 본 취급 설명서 가 필요 할 때 바로 참고할 수 있도록 가까 운 곳에 소중히 보 관 해 주십시오 . 읽 으 시 기 전 에 목차 1 . 본서의 취급 i 1…

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9. 모품환방법 4-27
9.1 기판 청소교환 4-27
9.2 UPS( 정전 전원장 ) 터리의 교환 4-29
5 개소 일람
1. 적용 구리스와 구리스 5-1
1.1 적용 리스 5-1
1.2 구리스건 5-1
2. 각부의 급유 5-2
2.1 X , CZ 이드와 볼스 5-2
2.2 Y 이드크류 5-3
2.3 W 이드 , 볼스류와 6 스플라 5-4
부록
1. 전원 접속 A-1
2. 기기간 입출력 커넥터 A-2
3. UPS( 무정전 전원장치 ) A-3
3.1 전상주의 A-3
3.1.1 UPS 수출에 관해서 A-3
3.1.2 환후의 배터기에 대해서 A-3
3.1.3 밖의 급상의 주의 A-3
3.2 UPS A-5
3.3 조작 및 설 A-6
3.3.1 패널 A-6
3.3.2 통상시 ( 전원 정상 ) 조작 A-6
3.3.3 발생시조작 A-6
3.4 유지보수에 A-7
3.4.1 교환 A-7
3.4.2 교환에 대해서 A-7
3.4.3 리의 보관에 대해 A-7
3.5 트러블 A-8
색인
. ,
올바르게 사용해 주십시오 .
읽으에는 취급 설명서필요 바로 참고할 있도록 가까
곳에 소중히 보해 주십시오 .
기 전
목차
1. 본서의 취급 i
1.1 매뉴얼의 성에 해서 i
1.2 매뉴얼의 기재내용 i
2. 장의 내용 ii
3. 페이지 iii
i
1. 본서취급
1.1 매뉴얼대해서
사용.
.
매뉴얼의 구성
장비 구입시 동봉되어 있습니다.
부속 매뉴얼
본서
27000-M9-00
1.2 매뉴기재내용
.
부속 매뉴기재
업자뉴얼 그래매뉴얼
용 매뉴얼 . 검사기 전체의 설명 및 조작에
요한 내용을 명합니 .
안전의 길잡
읽으시기 전에
1 각부의 명칭과 기능
2 기본적인 조작
3 상의
4 유지보수
5 장 급유개소 일람
, 사양 , UPS
이터의 프로그래머뉴얼 . 장비를 운전하위한
이터 작성 집방법설명합니 .
안전의 길잡
읽으시기 전에
1 기본적인 조작
2 로그램의 작성
3 라이브러리작성
4 항목의 설정
5 장 검사기설정
부록
뉴얼 트웨어 옵션 뉴얼 (CD)
검사옵션장치의 급에 관한 내용을 합니다 .
레이저 변위계
마킹 유니트
검사기의 각 소프트웨옵션의 용이 각각의 스톨 CD
납되어 습니 .
리페어 스테이션
리모판정 스테이션
c
주의
매뉴얼에 기재되어 있는 내용 , 예없이 변경될 경우가 있습니다 .