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A-1 1. 전 원 접속 부 █ YSi- V 전원사 양 항목 내용 전원 삼상 교 류 2 0 0/2 0 8 /2 2 0/ 2 4 0/3 8 0/4 0 0/ 416 V ± 10 % 주파수 5 0/ 6 0 H z 전원용량 7 .0 kV A █ 전원입 력 단자 본체 정면 의 하부 우 측 패널을 열 면 , 전원 접속 부가 있습니다 . 아 래 그 림과 같 이 전원 케이블을 사 용해 서 , 전원 접속 단…
Appendix
부록
목차
1. 전원 접속부 A-1
2. 기기간 입출력 커넥터 A-2
3. UPS( 무정전 전원장치 ) A-3
3.1 안전상의 주의 A-3
3.1.1 UPS 의 수송 및 수출에 관해서 A-3
3.1.2 교환후의 배터리 폐기에 대해서 A-3
3.1.3 그 밖의 취급상의 주의 A-3
3.2 UPS 에 관해서 A-5
3.3 조작 및 설정 A-6
3.3.1 프런트 패널 A-6
3.3.2 통상시 ( 전원 정상시 ) 의 조작 A-6
3.3.3 정전 발생시의 조작 A-6
3.4 유지보수에 대해서 A-7
3.4.1 배터리 교환시기 A-7
3.4.2 배터리의 교환에 대해서 A-7
3.4.3 교환용 배터리의 보관에 대해서 A-7
3.5 트러블 슈팅 A-8
A-1
1. 전원 접속부
█
YSi-V 전원사양
항목 내용
전원 삼상교류 200/208/220/240/380/400/416V ± 10%
주파수 50/60Hz
전원용량 7.0 kVA
█
전원입력 단자
본체 정면의 하부 우측 패널을 열면 , 전원 접속부가 있습니다 . 아래 그림과 같이 전원 케이블을 사용해서 ,
전원 접속 단자대 L1, L2, L3 과 접지 (PE) 를 접속합니다 .
메인 브레이커
전원입력 단자
YSi-V
전원입력 단자 (L1, L2, L3)
접지단자 (PE)
이 2군데에서 클램프되어 있다
27500-M9-00
█
케이블 가공예
케이블 가공예
원형 압착단자
압착단자 Y형
L1
L2
L3
PE
L=350mm
27501-M9- 0 0
c
주의
전원 케이블에는 , 도체 단면적이 3.3 ㎟ (AWG12) 이상의 것을 사용하여 주십시오 .
w
경고
감전사고를 방지하기 위해 , 전원의 접속은 차단기를 내렸는지 확인하고 나서 실행하여 주십시오 . 또한 , 본체 어스부의 접속은
확실하게 해 주십시오 .
A-2
2. 기기간 입출력 커넥터
검사기는 , 후공정 설비에서 반송허가 신호를 받으면 기판을 배출하고 , 다음 기판을 요구하기 위해 전공정 설비
에 반송허가 신호를 출력합니다 .
NEXT INTERFACE 커넥터는 후공정 설비와 접속하고 , PREVIOUS INTERFACE 커넥터는 전공정 설비와 접속
합니다 . 어느쪽의 커넥터도 AMP206043-1(14 핀 , 리셉터클 ) 을 사용하고 있습니다 .
커넥터는 각각 장비 배면 아래쪽의 좌우 커버내에 설치되어 있습니다 . 듀얼레인의 경우는 , 각 2 군데에 커넥터가
있으며 , 레인 1 과 레인 2 로 나뉘어져 있습니다 .
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3
1
7
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1
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3
기기간 접속예
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전공정기 후공정기본체
DC +24V
DC +24V
릴레이 출력
입력
입력
입력
입력
릴레이 출력
PNP입력
PNP입력
NEXT INTERFACE 커넥터
AMP 206043-1
(14핀・리셉터클)
PREVIOUS INTERFACE 커넥터
AMP 206043-1
(14핀・리셉터클)
27502-M9-00
█
기판반송 신호사양
‧
PREVIOUS INTERFACE
‧
NEXT INTERFACE
Pin No.
신호사양
Pin No.
신호사양
1 반송허가 1 반송허가
2 반송허가 COM 2 반송허가 COM
3 반송요구 3 반송요구
4 반송요구 COM 4 반송요구 COM
5 검사판정 OK
6 검사판정 OK COM
7 검사판정 NG
8 검사판정 NG COM