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9 3 . 概観図 ヘッドのノズル配置 （直列3ノズル） 3 . 概観図 0709 - 001
8
項 目 内 容 特殊事項
7. 装着ヘッド 吸着ノズル : Max. 3 本
参考 : 部品吸着数 :
部品サイズ 26.2
×
26.2 mm 以下
3
∼
55
×
55 mm 以下 2
注 : 上記条件を満たさない場合
は、部品吸着数は 1 とな
ります。( コネクタ 100
×
26 mm 等の場合 )
8
. ノズルストッ
カ
Max.
9 本ストック可能
注 : 多機能用
ノズルストッカを使用してください。
9. 質量 多機能ヘッド : 約 9.8 kg
多機能用ノズルストッカ : 約 6.2 kg
10. 寸法 多機能ヘッド : 約 幅 290
×
奥行 388
×
高 360mm
多機能用ノズルストッカ : 約 幅 300
×
奥行 120
×
高 258 mm
11. その他 • 加圧による挿入部品に対応可能
• メカグリップ ( オプション )
2.1 標準付属部品リスト
Table 1
No. 品 名 部品番号 部品名 数量 備 考
1 真空フィルタ 630 069
5816 AIR LINE EQPT 15
2 真空フィルタ交換治具 630
076 6691 TOOL, HAND 1
2. 仕 様
0709-001
9
3. 概観図
ヘッドのノズル配置
（直列3ノズル）
3. 概観図
0709-001
100709-001
Fig. 1
4. 設置位置
多機能ヘッドは、高速ヘッドに替えて任意のビームに取付けが可能
です。
1 つのステージで高速ヘッドと多機能ヘッドを組合せることも可能で
す。
(装置前面)
(装置後面)
ノズルストッカ
多機能ヘッド
Fig. 2
4. 設置位置