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43 13 . 消耗部品 リスト 1 年以内 に 消耗 する 可能性 がある 部品 リストです 。 購入 される 場合 は 、 日立 ハイテクノロジーズ 営業部門 または 販売代 理店 に 連絡 して 下 さい 。 T able 7 品名 部品番号 部品名 使用数 推奨数 / 年 ノート (a) 立体分解図 備考 真空 フィルタ 630 069 5816 AIR LIN EQPT 3 18 Fig.MT - 3 ノート （ a ） 推奨…
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(3) キャップから真空フィルタを取外します
。
ノート
キャップを捨てないでください。
真空フィルタ
キャップ
Fig. 21
(4) キャップに新しい真空フィルタを取付けます。
(5) キャップのフック部分に真空フィルタ交換治具を引っ掛け、
キャップを取外しの逆の要領で装着ヘッドへまっすぐ押込みま
す。
ノート
キャップは、装着ヘッドへ押し込めるだけ押込んでください。
(6) キャップのフック部分から、真空フィルタ交換治具を引っ掛け
の逆の要領で平行にズラして、治具を外します。
12. 真空フィルタの交換手順
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13. 消耗部品リスト
1 年以内に消耗する可能性がある部品リストです。
購入される場合は、日立ハイテクノロジーズ営業部門または販売代
理店に連絡して下さい。
Table 7
品名 部品番号 部品名 使用数 推奨数 / 年
ノート (a)
立体分解図 備考
真空フィルタ 630 069 5816 AIR LIN EQPT 3 18 Fig.MT-3
ノート
（a） 推奨数は、参考値です。
（b） 部品の交換方法については、“11. メンテナンスか所”を参照し
てください。
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13. 消耗部品リスト
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