PTS-NXT3c-07.pdf - 第153页
M6 IIIc-BED 7/ M6 IIIc-ベッド 7/ 2UGZBE000160 No. Drg.No. & Code No. QTY Description Rating Remarks 番号 図番 & ｺｰﾄﾞ番 号 個数 品名 規格 備考 1 Y6042 2 1 UNION, HALF ユニオン ハーフ KQ2H04 -02AS 2 Y6019 4 1 UNION, ELBOW ユニオン エルボ KQ2VS1 …
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AS1201F-M5-06-X229
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204
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208
201
202
2UGZBE000160
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M6 IIIc-BED 7/
MANUHOLD
CONVEYOR
DUCT
LEFT SIDE
RIGHT SIDE
Y-AXIS FLEXIBLE TRACK
FOR FEEDER OPTION
FOR MODULE FRONT SIDE
WASTE TAPE
DEVICE BASE
XSLIDE
NOZZLE CHANGE
IONIZER
BASE
(AIR SOURSE)
BASE
(AIR SOURSE)
(DEVICE BASE)
PROCESSING UNIT
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STANDARD
VACUUM BACK UP PINS (LANE1)
VACUUM BACK UP PINS (LANE2)
INSTALLATIONS
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DUST COLLECT
AIR BLOW ON
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152
PTS- NXT3c- 07
M6 IIIc-BED 7/
M6 IIIc-ベッド 7/
2UGZBE000160
No. Drg.No. & Code No. QTY Description Rating Remarks
番号 図番 & ｺｰﾄﾞ番号 個数 品名 規格 備考
1 Y60422 1 UNION, HALF
ユニオン ハーフ
KQ2H04-02AS
2 Y60194 1 UNION, ELBOW
ユニオン エルボ
KQ2VS10-02AS
3 Y60195 2 UNION, ELBOW
ユニオン エルボ
KQ2L04-01AS
4 Y60199 2 UNION, ELBOW
ユニオン エルボ
KQ2L06-M5A
5 Y60192 2 UNION, ELBOW
ユニオン エルボ
KQ2L06-01AS
6 H3145K 1 PLUG
プラグ
KQ2P-04
7 Y60291 1 UNION
ユニオン
KQ2U04-06A
8 Y60205 1 UNION, HALF
ユニオン ハーフ
KQ2H08-00A
9 Y60365 1 UNION
ユニオン
KQ2H10-12A
10 Y60206 2 UNION, ELBOW
ユニオン エルボ
KQ2L04-06A
11 Y60313 1 UNION
ユニオン
KQ2T10-00A
12 A61138 1 ELBOW
エルボ
KQ2L12-00A
13 Y60203 1 UNION, HALF
ユニオン ハーフ
KQ2S12-03AS
14 Y3023W 1 UNION
ユニオン
PEG12-8
15 Y3027B 1 UNION
ユニオン
PWJ8-6
16 K11578 2 COUPLER
カプラ
KK4P-10E
17 K1158B 2 COUPLER
カプラ
K4-04PM
18 Y60202 2 ELBOW
エルボ
KQ2L10-99A
19 2MGKBC000403 1 JOINT
ジョイント
20 H66819 2 VALVE, SOL
バルブ ＳＯＬ
SYJ512T-5MOZ-M5-F-Q
21 S64379 1 SW, PRESSURE
ＳＷ プレッシャ
ISE30A-C4L-P-ML
22 S64380 1 SW, PRESSURE
ＳＷ プレッシャ
ZSE30A-C4L-P-ML
23 A3033A 3 PLUG
埋栓
PT1/4
24 2MGTBC001604 1 MANIFOLD, AIR
マニホールド エアー
25 A3042A 2 PLUG
埋栓
M-5P
26 K68769 1 CONTROLLER, SPEED
コントローラ スピード
AS1201F-M5-06-X229
27 A3034A 3 PLUG
埋栓
PT1/8
28 2MGKBC000101 1 JOINT
ジョイント
29 A61009 2 ELBOW
エルボ
KQ2L12-99A
30 Y60374 1 UNION, ELBOW
ユニオン エルボ
KQ2LU06-01AS
31 Y60440 1 UNION
ユニオン
KQ2T10-08A
34 Y60337 1 UNION
ユニオン
KQ2T04-06A
35 H3145L 1 PLUG
プラグ
KQ2P-06
41 K1161W 1 COUPLER
カプラ
CPPE7-01
OPTION PARTS WHEN VACUUM BACK UP PINS
42 Y3024A 1 UNION
ユニオン
PMF6-01
OPTION PARTS WHEN VACUUM BACK UP PINS
43 Y3016B 1 UNION
ユニオン
PLLJ6
OPTION PARTS WHEN VACUUM BACK UP PINS
44 Y60346 1 UNION
ユニオン
KQ2H06-02AS
OPTION PARTS WHEN VACUUM BACK UP PINS
51 S5026S 1 SOCKET
ソケット
KK2S-06E
52 S5026S 1 SOCKET
ソケット
KK2S-06E
101 2MGZBE005401 1 TUBE
チューブ
102 2MGZBE004000 1 TUBE
チューブ
103 2MGZBE004101 1 TUBE
チューブ
104 2MGZBE004201 1 TUBE
チューブ
105 2MGZBE004300 1 TUBE
チューブ
106 2MGZBE004401 1 TUBE
チューブ
107 2MGZBE004500 1 TUBE
チューブ
108 2MGZBE004600 1 TUBE
チューブ
109 2MGTBA002701 1 TUBE
チューブ
110 2MGZBE004700 1 TUBE
チューブ
111 2MGZBE004801 1 TUBE
チューブ
112 2MGZBE006600 1 TUBE
チューブ
153
PTS- NXT3c- 07
M6 IIIc-BED 7/
M6 IIIc-ベッド 7/
2UGZBE000160
No. Drg.No. & Code No. QTY Description Rating Remarks
番号 図番 & ｺｰﾄﾞ番号 個数 品名 規格 備考
113 2MGTBC018900 1 TUBE
チューブ
114 2MGTBE004700 1 TUBE
チューブ
115 2MGZBE002400 1 TUBE
チューブ
116 2MGZBE007700 1 TUBE
チューブ
117 2MGZBE004900 1 TUBE
チューブ
118 2MGZBE005000 1 TUBE
チューブ
120 2MGZBE005602 1 TUBE
チューブ
122 K70128 1 CONTROLLER, SPEED
コントローラ スピード
AS1201F-M5-06-X828
131 2MGZBE002600 1 TUBE
チューブ
OPTION PARTS WHEN VACUUM BACK UP PINS
132 2MGZBE002700 1 TUBE
チューブ
OPTION PARTS WHEN VACUUM BACK UP PINS
151 2MGTBE010200 1 TUBE
チューブ
201 Y60220 1 UNION
ユニオン
KQ2T08-06A
202 Y60200 1 UNION, ELBOW
ユニオン エルボ
KQ2L06-99A
203 H1059W 1 VALVE, BALL
バルブ ボール
BVLU6-6
204 S40278 2 SENSOR
センサ
ER-VW
205 PZ27412 1 TUBE
チューブ
206 PZ20931 1 TUBE
チューブ
207 PZ20661 1 TUBE
チューブ
208 Y3021F 1 UNION
ユニオン
PCC6-M8M-F
154
PTS- NXT3c- 07