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第 2 章 真空支撑销位置的变 更 第２部 XP-24 1 E 机械手册 2-2-2 Edition 1 .0 笔记 笔记 笔记 笔记 : : : :
第２部 第 2 章 真空支撑销位置的变更
Edition 1.0 2-2-1 XP-241E 机械手册
2.
2.2.
2. 真空支撑销位置的变更
真空支撑销位置的变更真空支撑销位置的变更
真空支撑销位置的变更
要点
要点要点
要点
根据基板的形状或尺寸、背面先装配零件的布置等因数，来决定真空支撑销的位置和数量。
对向上翘曲的基板，则使用带有真空吸盘的支撑销，来确保基板的平面度。
方法
方法方法
方法
事先从主机卸下 MFU。
1. 请用 I/O 操作，把基板升降台降下来。
2. 请将搬运轨道宽度扩大到最大宽度。
3. 把定位托架稍许向横向拉动，然后向上提取卸下。
装卸定位托架时的注意事项
装卸定位托架时的注意事项装卸定位托架时的注意事项
装卸定位托架时的注意事项:
::
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·注意不要使定位托架
·注意不要使定位托架·注意不要使定位托架
·注意不要使定位托架接触
接触接触
接触传感器。有可能造成传感器的损伤。
传感器。有可能造成传感器的损伤。传感器。有可能造成传感器的损伤。
传感器。有可能造成传感器的损伤。
·因
·因·因
·因为在
为在为在
为在 MFU
MFUMFU
MFU 端进行作业，
端进行作业，端进行作业，
端进行作业，请注意不要与照相机、吸嘴接触
请注意不要与照相机、吸嘴接触请注意不要与照相机、吸嘴接触
请注意不要与照相机、吸嘴接触。
。。
。
4. 松动固定螺栓，布置好真空支撑销。
5. 把定位托架安装在基板升降台上。这时，要把定位托架用力推至碰到挡块为止。
6. 在提升基板升降台之前，请确认真空支撑销不与从动端的搬运轨道相接触。如果有接
触时，请改变真空支撑销的位置。
第 2 章 真空支撑销位置的变更 第２部
XP-241E 机械手册 2-2-2 Edition 1.0
笔记
笔记笔记
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